中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 1200°C三温区九通道混气高真空CVD系统--OTF-1200X-4-III-9HV
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

           OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE认证的九通道高真空三温区CVD系统,齐炉管直径为4英寸,它是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成,其最高温度可达1200,极限真空可达to 10^-5 torr,混气系统可以对1-9种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部,用来研究气体环境对材料的影响。

         技术参数

        管式炉 壳体
        加热元件     Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(电阻丝表面涂有氧化锆涂层,使其延长加热元件的寿命)
        最高工作温度

            1200°C

        连续工作温度     1100°C
        最大升温速率     ≤20°C/min
        加热区长度
        • 总温区长度:   (880mm,  35" in total)
        • 温区 1: 220 mm + 温区2:  440 mm + 温区 3: 220 mm 
        恒温区     500mmL (三个温区在同一温度within +/- 1°C) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 
        炉管尺寸和材质
        • 材质:高纯石英管
        • 100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm
        温控系统
        • 三个数字精密温度控制器,可设置50段升降温程序,每个温区可以进行独立控温
        • PID调节与自动调整功能,确保温度稳定在+/ - 1 oC
        • 带有过热和断偶保护
        • 控温仪表操作视频
        热电偶     3K型热电偶
        输入电源     AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率:7KW
        真空配件
        • 标准的真空配件包括
        • 两个不锈钢真空密封法兰与kf 25抽气接口
        • 个精密针阀和一个1/4软管接头
        • 6个高温硅胶O型密封圈,最高可承受温度300°C
        • 为了防止热量以热辐射的形式散失,高温损坏密封圈,炉子在加热前必须放入氧化铝管堵
        • 一根KF-40 抽真空波纹管
        • 三个KF-40 快速卸装卡箍
        • 2KF-25 快速卸装卡箍
        高真空机组 结构
        • 壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
        • 最大承载量:       600 Lbs on top
        • 分子泵显示屏:LCD数字显示 内装有一Pfeiffer vacuum pump  made in Germany
        真空传感器
        • 真空传感器有一个kf 25接口
        • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

         

        控制面板
        • 一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,分子泵自动启动)  
        • 系统控制旋转速率:根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率

         

        抽气速率
        • N2     33 L/s
        • He     39 L/s   (2340L/minute)
        • H2     32 L/s
        工作范围     1000 mbar to <1E-7 mbar
         
        极限
            10^-5 torr (with tube furnace)
        输入电源  
            110V AC or 220V AC可切换的, 50/60Hz
        消耗功率  
            持续时间/最大功率: 100/110Watt
        MFC 质量流量控制器
        • 9通道精密质量流量控制器,安装在移动架上,并带有数字显示
        • 3 MFC 范围10 - 1000scc
        • 3 MFC 范围2 0 - 200scc
        • 3 MFC范围3 0 - 10 scc
        • 三个压力表分别安装在底部移动架的质量流量控制系统上,用来检测混合气体的压力

         

        运输信息
        • 炉子尺寸:     550 x 380 x 520mm
        • 质量流量控制器尺寸: 600 x 600 x 700mm
        • 高真空机组尺寸:  600 x 600 x 700mm
        重量
        • 净重: 100Kg
        • 运输重量: 350 lb (two pallets)
        质量认证     一年质保期,相关耗材除外如炉管,密封圈,加热元件等易耗件
        质保期

                 CE Certificateed

        使用注意事项
        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
          Operation Manual    Quick test instruction