中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 1200°C二通道混气高真空CVD系统--OTF-1200X-HVC
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

           OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-单温区管式炉,二路质子混气系统和高真空机组组成。其最高工作温度可达1200℃,极限真空度可达 10-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。


         

          技术参数

        OTF-1200X系列 管式炉

        壳体结构

        炉管

        • 材质高纯石英管
        • 石英管包含在内.
        • 可以选择其他管径

        功率

                 2.5KW

        工作电压

                 AC 208-240V 单相, 50/60Hz

        加热元件

               Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(电阻丝表面涂有氧化锆涂层,最大程度的延长加热元件的使用寿命)

        工作温度

        • 最高工作温度.: 1200°C
        • 连续工作温度: 1100°C

        加热速率

           加热速率: 1~20°C/min 可编程

        加热区长度

        • 总加热区长度: 440mm
        • 恒温区长度. : 150mm (±1°C) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

        控温系统

        • PID自动控制方式,可设置30段升降温程序
        •  控温仪表操作视频
        • 控温精度: ±1°C           
        • 热电偶: K 型已经安装在炉内

        真空密封

        • 一对不锈钢真空密封法兰,已经安装
        • 法兰上已经安装机械压力表
        • 一对精密针阀
        • KF-40 的抽气接口

        功率

                100~110W

        工作电压

                AC 208-240V , 50/60Hz

        高真空机组

        壳体

        • 壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
        • 最大承载量:       600 Lbs on topf:  
        • 分子泵显示屏: LCD 数字显示
        • 壳体内安装有一台德国制造的分子泵   

        抽气速率

        • N2     33 L/s
        • He     39 L/s   (2340L/minute)
        • H2   32 L/s

        工作范围

                1000 mbar to <1E-7 mbar 

        极限

                <1E-8 mbar (无泄漏

        质量流量控制器

        壳体

        • 采用 316不锈钢制作
        • 混气箱尺寸: Φ80X120mm  
        • 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

        功率

                 18W 

        工作电源

                 AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz

        开门断电

          为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
         
          

         

        质保期

          一年质保期,相关耗材除外,如炉管密封圈加热元件等易耗件

        质量认证

         

        使用注意事项
        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)