中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 双温区开启式真空管式炉 (管径80mm, 1200C Max) 与真空泵(10E-2 torr) + 三路流量控制系统 - OTF-1200X-80-II-F3LV
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

          OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通过CE认证的温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用双旋片机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,可以混合1-3种气体,其真空度可达到 10-2 torr.
         

             技术参数

        壳体结构

        功率

                2.5 KW

        电压

                AC 208-240V单相, 50/60 Hz

        加热元件

                Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

        最高工作温度

               1200 ℃

        连续工作温度

               1100 ℃

        最大升温速率

               ≤20 ℃ /min

        炉管尺寸和材质

             石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm

        加热区长度

        • 两个加热区:  每个温区200 mm (8")  
        • 总加热区长度400 mm 

        恒温区长度

                 150mm  (+/-1 ℃注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

        温度控制器

        • 两个精密的温度控制器,单独的控制两个温区
        • PID方式控制,通过PWM固体继电器
        • 30 可编程智能温度调节仪,可设置30段升降温程序
        • 带有过热和断偶保护
        • 控温仪表操作视频

        控温精度

                +/- 1 ℃

        真空密封系统

        • 两个不锈钢密封法兰,法兰上有KF-25接口和法兰上已经安装机械压力表(图片中的蓝表为选配)阀门
        • 真空度:通过机械泵真空度可以达到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr),如想获得更高的真空度可以采用分子泵,真空度可以达到10-5 torr.
        • ·泄漏率< 5 m-torr/min(点击图片查看详细资料)
           
           

        真空泵

              采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。

        防腐型真空计

              可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
            

         

        混气系统

         

         

         

        • 3个浮子流量计安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。 
        • 第一路气体流量范围为10-100 cc/min.  
        • 第二路气体流量范围为16-160 cc/min.  
        • 第三路气体流量范围为25-250 cc/min.
        • 一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接 ,来监测混合气体的压力    

        阀门

            四个不锈钢阀门安装移动架的侧面板上分别在三个气体的入口处

        尺寸

        • 炉子: 550 x 380 x 520 
        • 移动架: 600x600x597
        开门断电

           为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
               

         

         净重

             约60KG 

        运输重量

             600 lbs 

        质保期

             一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈等易耗件

        质量认证

         

        使用注意事项

        • ·炉管内气压不可高于0.02MPa
        • ·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • ·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • ·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • ·石英管的长时间使用温度<1100
        • ·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)