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        • 产品名称: 带3路浮子混气三温区1700℃管式炉--GSL-1700X-III-F3LV
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

           GSL-1700X-III-F3LV是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统,其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵,混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。

        技术参数

        炉体结构 

         
        (点击图片查看详细资料)

        最大功率

        10KW(需要75A的空气开关 )

        电压

        AC 380V 50 Hz

        加热区

        • 总加热区长度:25" (630 mm) 
        • 加热温区1长度:7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热,最高温度可达1400 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 
        • 升温速率:10°C/min
        • 加热温区2长度:10" (250 mm)1700°C 6根硅钼棒加热,最高温度可达1700
        • 最快升温速率:5°C/min
        • 加热温区3长度:7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热,最高温度可达1400
        • 最大升温速率:10°C/min

        炉管和法兰尺寸

         

        • 99.8%高纯刚玉管 purity Alumina Tube
        • (标配)( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm L
        • 一对60mm的不锈钢密封法兰,法兰上已安装阀门和仪表
        • 仪器中包括4个氧化铝管堵

        温控系统

        控温精确度

        +/-1°C

        低真空系统

           

        • 采用TRP-12的双旋机械泵,其针对于本公司的管式炉,真空度可达到 10-2 Torr.
        • 一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上,其尺寸为 25mm Dia x 1000mm length ,可于管式炉上的法兰相连接

         防腐型真空计

        其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换

        三路浮子混气系统

         

          

        • 3浮子流量计(精确度4%FS)安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。
        • 第一路气体流量范围为10-100 cc/min. 
        • 第二路气体流量范围为16-160 cc/min.
        • 第三路气体流量范围为25-250 cc/min.
        • 一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接
        • 移动架上安装有4个不锈钢针阀 

        尺寸

        高温炉:   863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H  inch)

        质保期质量认证

        一年质保期. (不包括炉管加热元件和密封圈 .) 

         CE certified

         

         

         

         Operation Manual  Download Catalog         Quick test instruction