中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 1600℃双温区管式炉--GSL-1600X-II
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

           GSL-1600X-II是一款CE认证的双温区高温管式炉,每个加热区长度12’’,30段智能温度调节仪进行控温,温度达到1600度时加热元件采用硅钼棒,温度在1400度时加热元件采用硅碳棒,可通过调节两个温区的控温程序使炉管内温场形成一温度梯度,此系列管式炉可以用CVDPVD方法来生长纳米材料和制作各种薄膜.

        技术参数

        壳体结构

        最大功率

        10KW 

        电压

        AC 380V , 50 Hz

        加热区长度

        • 两个温区分别进行加热
        • 温区1:  工作温度 800 - 1400ºC (硅碳棒加热
        • 加热区长度: 12" (300 mm) 
        • 恒温区长度: 4" (100mm) within +/-1ºC 
        • 升温速率 10ºC/min 
        • 温区2:  工作温度  800 - 1600ºC(硅钼棒加热
        • 加热区长度: 12" (300 mm) 
        • 恒温区长度: 4" (100mm) within +/-1ºC 
        • 升温速率5ºC/min 
        • 注:(恒温区)由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

        炉管尺寸和法兰

        • 纯度99.8% 的氧化铝陶瓷管
        •  (标配)(60mm) O.D. x (50mm )I.D x 1000 mm L
        • (选配)(80mm) O.D. x  (70mm)   I.D x 1000 mm L
        • 包括60mm不锈钢真空密封法兰,针阀,和压力表

        扩展接口

        •  如想增加抽气速率以便获得较高的真空,建议您将标配的软管接头更换成theKF25 adapter转接头.(可点击查看)
        • 如需要在惰性或还原性气体条件下使用,建议您将标配的软管接头更换成VCR 双卡套接头(可点击查看)
        • 可选:本公司生产的铰链式法兰,和进口的防腐型真空计
            

        温控系统

        • PID智能化温度控制器,可以设置30段升降温程序
        • 每个温区可以独立的设置,带有过热和断偶保护
        •  控温仪表操作视频

         热电偶

         2根B

         控制方法

         PID 自动控制

         控温精度

         +/- 1ºC 

        加热元件

        •  温区1: 8 pcs U type SiC rods (1500C grade )
        • 温区2: 8 pcs U MoSi2 rods (1700C grade )

        外形尺寸

        780 L x 450 W x 720 H mm 

        净重

        150 kg 

        质保期

        一年质保期,相关耗材除外,如加热元件,密封圈,炉管等易耗件

        质量认证

          CE certified

        国家专利  专利名称:一种新型高温烧结管式炉

          专利编号:ZL-2011-2-0077178.8

          科晶承诺:尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究