中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 1200℃带3通道混气真空管式炉--OTF-1200X-80-I-F3LV
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

           OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到  10-2 torr。

        技术参数

        高温炉壳体

        最大功率

        3 KW

        电压

        AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 

        加热元件

        掺钼铁鉻铝,表面涂有氧化锆涂层,可以最大程度的延长仪器的使用寿命

        最高工作温度

        1200

        连续工作温度

        1100

        最快升温速率

        <= 20 

        炉管材质和尺寸

        石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

        加热区长度

        400 mm

        恒温区长度

        150 mm(+/-1 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

        控温系统

        控温精度

        +/- 1oC

        真空密封系统

         (点击图片查看详情)

         

        两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),最大漏气率6 mtorr/min

         

        真空泵

         

        采用双旋机械泵

        防腐型真空计

        • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

        混气系统

         

         

        New Version front panel

         

        • 三个浮子流量计(准确率4%FS)
        • 三路浮子量程分别为
        • 10-100 cc/min.
        • 16-160 cc/min.
        • 25-250 cc/min
        • 内部安装有一混气罐

        尺寸

        炉体尺寸: 550 x 380 x 520 mm, 混气系统尺寸: 600x600x597 mm

        开门断电 为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
           

        净重

        60kg

        运输重量

        200

        质保期

        一年质保期(不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件)

          CE Certificate 

         

        使用注意事项:
        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

         

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