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        • 产品名称: 1350℃温控型插入式蒸发源(带有磁流体密封,KF50法兰,针对于PVD实验)GSL-1350X-ISE
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,详情请致电销售热线
        • 产品型号: GSL-1350X-ISE

        下载附件:

            GSL-1350-ISE是一款温控型可插入式蒸发仪,适用于蒸发各种金属和有机材料,其最高温度可达1350℃。采用磁流体密封,可保证在旋转的腔体中进行PVD实验。KF50的旋转式快接法兰,可非常方便地与各种真空腔体对接。此模块还配有一进气阀,用于通入气体对腔体进行清洗和排气,保证样品在蒸镀过程中不被氧化。

         

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         技术参数

         

         

         

         

         

         

         

        结构 & 特点

         

         

        ·此蒸镀系统升温可以手动和自动两种模式。手动模式可以快速加大电流,达到快速加热蒸发,但温控性较差。自动控制控温较准确。

         

        ·采用钨线圈加热,氧化铝坩埚装料,其最高温度可达1350℃

         

        ·精确控温,可设置30段升降温程序,控温精度可达+/- 1 ºC

         

        ·Φ6.35mm进气口,可向蒸镀腔体中通入气体

          

         

        电源

        ·电压:208 - 240 VAC 50/60 Hz, 单相, 500W

         

         

         

         

         

         

         

         

        温控系统 加热源

         

         

        ·最高工作温度: 1350ºC (<1hr)., 连续工作温度:1200℃

         

        ·500WDC蒸发电源,最大电流30A

         

        ·钨丝加热,S型热偶测温,氧化铝坩埚装样

         

        ·温控系统可设置30段升降温程序,控温精度:+/- 1 ºC

         

        ·建议升温速率< 30 ºC/min

         

        ·若长期工作在800℃以上,必须用高温棉填满耐火保温层与坩埚之间的间隙。可减少钨丝加热元件的损耗。

              

         

         

         

        样品坩埚

         

        ·配有0.7ml的氧化铝坩埚

         

        ·S型热电偶嵌在坩埚底部,用于精确测量加热温度

         

         

         

        进气口

         

        ·Φ6.35进气口,用于向蒸镀腔体中通入气体

         

        ·一个针阀安装在进气口后端,用于控制其气体流量

         

        可选

        ·可选购快接法兰,接口为KF50,可与Φ50mm炉管对接

              

        质量认证

        ·CE认证

        质保

        ·一年质保期,终身维护