中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X- S50- 2F
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

            OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉,是一款通过CE认证的可开启式管式炉,能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温精确度为+/- 1  


        技术参数

        高温炉

        壳体


        (点击图片查看详情)

        最大

        功率      

        1.75KW

        电压

        AC -220V 

        温度

        • 最高工作温度:1200℃< 1hr)
        • 连续工作温度1100 ℃
        • 升温速率 <= 10℃/min

        炉管

        石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

        加热区

        • 加热区长度: 8" (200mm)
        • 恒温区长度: 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 900 °C 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

        温控系统

        加热元件

        掺钼铁鉻铝(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长仪器使用寿命

        两路混气系统

        • 两个浮子流量计量程为16 —100mL/min 
        • -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)
        • 三个机械压力表:-0.1-0.15 MPa
        • 混气箱上安装有一不锈钢针阀
        • 后端装有φ6.35卡套接头,无需通电
        • 外型尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").
        • 净重: 14 lbs.  
           

        真空法兰和配件

        结构

         

        左法兰

          右法兰

         

        • 标准真空配件:
        • 一个防腐型真空计
        • 一个φ6.35的卡套接头
        • 两个KF25转接头
        • 一个600mm的不锈钢波纹管
        • 可选法兰:本公司生产的带铰链式法兰(点击图片了解详细资料)
        • 本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换
           
        真空泵
        • 我公司有多种真空泵可选,请点击图片,或是致电我公司销售

        产品净重

        100 lbs

        产品尺寸

        • 炉体:340 x 300 x 400mm
        • 真空泵:440 x 160 x 300mm
        • 混气系统: 340 x 300 x 180mm

        运输重量

        200lbs

        开门断电 为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
           

        质保期

        一年质保期(不包括炉管、硅胶O型圈和加热元件等损耗件)

        质量认证

        使用注意事项:
        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)