中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 1100℃大口径单温区管式炉--GSL-1100X-XX-S (UL)(炉管直径6英寸和8.5英寸)
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

             GSL-1100X-XX-S (UL)是本公司推出的大口径单温区管式炉系列,炉管直径有6英寸(152mm)或8.5英寸(216mm).设备最高加热温度可达1100℃,控温精度为+/-1并可设置30段升降温程序。此款设备配有铰链式法兰,可对材料在真空或气氛保护环境下进行热处理。
         

        技术参数

        设备型号

        GSL-1100X-6-S(UL)

        GSL-1100X-8.5-S(UL)

        炉管尺寸

        石英管:152 OD x 143 IDx 1300L mm

        石英管: 216 OD x 208 IDx 1020L mm

        炉体结构

        • 采用双层壳体结构,并且有4个冷却风扇安装在炉体内部,使设备表面温度小于60℃
        • 炉膛材料采用高纯氧化铝纤维
        • 设备中配有2个泡沫陶瓷管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性)
        •    

        电压

        208-230VAC 单相

        最大功率

        8KW(需要50A的空气开关)

        加热元件

        掺钼铬铝合金

        工作温度

        • 最高加热温度:1100℃(<1小时)
        • 连续工作温度:400 -1050
        • 最大升温速率:20/min
        • 800℃的温度分布图(仅供参考)
        •  

        加热区

        • 加热区长度:600mm
        • 恒温区长度:200mm(+/-1)注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

        温控系统

        • 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序
        • 设备除了安装有一个控温仪表,同时还安装有辅助检测仪表
        • 热电偶:K型热偶
        • 控温精度: +/-1
        • 可选购控温软件和PC模块,可用电脑来设置和检测设备加热温度
        •  

        真空密封&接口

        • 一对不锈钢铰链式真空水冷法兰
        • 法兰底部安装有冷却风扇,保证设备使用时法兰温度低于70℃
        • 进气端法兰上安装有机械压力表,进气接口为Φ6.35卡套式接口,抽气端法兰接口为KF25
        • 真空度:10-2Torr(采用双极旋片式机械泵)
        •    

        仪器尺寸

        1000L x 680W x920 Hmm

        净重

        250kg

        质保

        一年质保期(不包含炉管、加热元件和密封圈)

        质量认证

        应用注意事项

        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)