工作电压&功率

AC220V 单相 50/60Hz  100W

PLC触摸屏 

l 通过6″PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制

l 可控制2个ALD阀门的脉冲时间以及循环次数（毫秒级）

l 可控制4通道的气体流量（4通道质子流量计，精度±0.2%F.S）

l 真空压力显示

l 请点击左图查看控制界面

l RS485 通讯接口和PC软件可以连接到电脑上，进行远程控制 

ALD进气阀

l 对于两种前驱体气体的沉积，需2个ALD进气阀进行控制（不包含在设备中）

l 客户可使用自己已有的ALD阀或点击下图选购本公司ALD阀

流量控制

l 四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合

  流量范围:

  一路: 0~100 SCCM

  二路: 1~199 SCCM

  三路: 1~199 SCCM

  四路: 1~499 SCCM

l 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

l 工作温度：5~45ºC  耐压:3MPa  

l 精度: ±1.5% FS  线性: ±1%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.

通气管道
    

l 内置不锈钢混气罐

l 内部连接管道为1/4”不锈钢管

l 外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐

 Φ80X120mm

截止阀及配件

 316不锈钢针阀   Φ1/4” 不锈钢管

尺寸

 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

质量认证

 CE认证

质保期

 一年保质期，终生维护

可选配件

l 可选购气液混合装置用于蒸汽的通入，点击下图查看详情

l 客户可另外付费由本公司对ALD控制单元以及管式炉系统进行连接组装。