功能纳米材料
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ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系统,包含4通道质子流量计进行气体的混合和输送,可与本公司任意管式炉或腔体进行DIY,组建一套ALD系统,用于薄膜的制备或者粉末表面的包覆复合。LCD触摸屏可方便的对每一通道ALD的脉冲时间以及气体流量进行控制。
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技术参数
工作电压&功率
AC220V 单相 50/60Hz 100W
PLC触摸屏
l 通过6″PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制
l 可控制2个ALD阀门的脉冲时间以及循环次数(毫秒级)
l 可控制4通道的气体流量(4通道质子流量计,精度±0.2%F.S)
l 真空压力显示
l 请点击左图查看控制界面
l RS485 通讯接口和PC软件可以连接到电脑上,进行远程控制
ALD进气阀
l 对于两种前驱体气体的沉积,需2个ALD进气阀进行控制(不包含在设备中)
l 客户可使用自己已有的ALD阀或点击下图选购本公司ALD阀
流量控制
l 四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
l 注意:其他流量范围的可定制,需额外费用
l 工作温度:5~45ºC 耐压:3MPa
l 精度: ±1.5% FS 线性: ±1%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
通气管道
l 内置不锈钢混气罐
l 内部连接管道为1/4”不锈钢管
l 外部通气管道为1/4”聚四氟管
混气罐
Φ80X120mm
截止阀及配件
316不锈钢针阀 Φ1/4” 不锈钢管
尺寸
600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
质量认证
CE认证
质保期
一年保质期,终生维护
可选配件
l 可选购气液混合装置用于蒸汽的通入,点击下图查看详情
l 客户可另外付费由本公司对ALD控制单元以及管式炉系统进行连接组装。
MTI Corporation
沈阳科晶自动化设备有限公司
深圳市科晶智达科技有限公司
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