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        • 产品名称: 1200℃1英寸双温区管式炉CVD系统--OTF-1200X-S25-II -SL
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

             OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型双温区管式炉CVD系统()。它由带快速链接法兰的小型双温区滑轨炉、质子流量控制器、真空泵三部分组成。双温区()滑轨炉可移动并可实现快速升降温;触屏式三路质子流量器,能够精确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。
         
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        技术参数

        OTF-1200X-S25-II -SL管式炉

                  炉体结构

         

         

                   炉管尺寸

         Φ25×1000mm

                   功率    

         1.2kW

                   输入电

         220VAC  单相  50/60Hz

                   加热元件   

         Cr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金)

                   最高温度

         最高1200 额定温度  1100℃

                   升温速率

         ≦10/min(推荐)

                   恒温区长度

         50mm(±1℃)

                   加热区长度

         

        • 两个加热区的长度都是100mm
           
        • 分别由独立的温控系统控制

         

                   控温精度

         ±1℃

                   快速连接法兰

         

        • KF25不锈钢真空法兰
           
        • 打开法兰直接卸下卡箍即可,取放样品方便
           
        • 另配备有可调节高度的法兰支架

         

        真空系统(多种真空系统可选请点击这里)

                       壳体尺寸

             600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

         最大承载量 

             1000 Lbs 

             

         

          

                    抽气速率

         

        • 3L/S
           
        • 极限真空度:10-1Pa
           
        • 双层立式油污过滤器(PE材质)与真空泵连接

         

                    电压

         220VAC  单相  50/60Hz

                    功率

         550/400W(单相/三相)

         

         

        三路质子流量控制系统多路质子流量器可选,详情请点击这里

         

         

                       针阀材质

         316不锈钢

                       工作温度

             5~45℃

                       外型尺寸

          600(L) x 600(W) x 700(H) mm

                    电压

         AC220V/50Hz单相

                    功率

         23W

        质保期

            一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈加热元件等易耗件

        质量认证

         


         

         

         

        使用注意事项

         

        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
           
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
           
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
           
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
           
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)