中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
科晶新品
根据应用寻找设备
根据应用寻找晶体
-- A-Z晶体及材料 --
A-Z系列晶体
A-Z系列靶材
A-Z系列蒸发料
A-Z系列薄膜
A-Z系列金属丝箔 
A-Z系列粉料 
陶瓷玻璃及其他基片
晶体包装材料及工具

功能纳米材料

3D打印合金粉
-- 加热炉系列 --
箱式炉
管式炉
混合箱/管式炉
高通量炉
CVD系统
氢气炉/高温高压炉
RTP快速退火炉
熔炼/铸造系列
晶体生长炉
工业炉
烘箱/真空储存箱
加热炉配件及耗材
-- 薄膜制备设备 --
等离子镀膜设备
蒸发镀膜设备
流延涂覆设备
化学气相沉积薄膜设备
静电纺丝/喷涂设备
丝印涂覆设备
旋涂/提拉涂覆设备
薄膜检测设备
-- 样品处理设备 --
混料、球磨系列设备
实验室压机/辊压机
清洗机设备
切割设备
研磨抛光设备
-- 电池研发全套设备 --
扣式电池研发设备
柱状电池研发设备
软包电池研发设备
超越锂电/固态电池
太阳能电池/燃料电池
电池测试设备
电池研发材料
-- 其他实验室设备 --
气、液、固进料系统
真空系统
手套箱
检测设备
水冷机
电子天平
配件耗材

        • 产品名称: 五靶头等离子射频磁控溅射仪--VTC-5RF(针对于MGI薄膜研究)
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: VTC-5RF

        下载附件:

           VTC-5RF是一款5靶头的等离子射频磁控溅射仪,针对于高通量MGI(材料基因组计划)薄膜的研究。特别适合用于探索固态电解质材料,通过5种元素,按16种不同配比组合。

         

             免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

         

        技术参数 

        设备名称

        5靶头等离子射频磁控溅射仪--VTC-5RF

         

         

         

         

         

         

         

        主要特点

         

        l多种溅射靶头及电源可选,自由组合,具体请致电我公司销售部。

         

        l根据所使用的电源(DC或RF),可以沉积金属或非金属材料。

         

        l一个旋转开关可以依次激活溅射头,可在真空或等离子体环境中自动切换,不影响真空度。

         

        l可以安装五种不同材料的靶材,每个靶头可单独设置溅射时间功率等参数,用于生长不同成分的薄膜。

         

        l可选购多个射频电源,同一时间溅射多个靶材。

         

        l可选配设备控制软件,用电脑控制溅射的所有参数。

         

         

         

         

         

        溅射腔体

         

        l真空腔体采用304不锈钢制作

         

        l腔体内部尺寸:  470mm L×445mm D×522mm H  (105 L)

         

        l铰链式腔门,直径为Φ380mm,上面安装有Φ150mm的玻璃窗口

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        溅射头&样品台

         

        l5个1英寸的磁控溅射头,带有水冷夹层(图一)

         

        l溅射腔体内安装有电动挡板

         

        l溅射距离: 50–80 mm

         

        l溅射角度: 0–25°(可调)

         

        l实验时,需要将靶材和靶材的垫片用导电银浆粘合粘合,(可在本公司购买导电银浆)

         

        l可以单独订购RF连接线作为备用(图二)

         

        l设备需要一台水冷机,用于靶头冷却(图三)

         

        l原理图请参考(图四)

            
             图一        图二        图三
                图四

         

         

         

         

         

         

        样品台

         

        l直径为150mm的样品台,上面覆盖一旋转台,带有10mm的孔洞,每次露出一个样品接收溅射成膜。

         

        l样品台尺寸:Φ150mm,可通过程序控制来旋转,可制作16种不同组分的薄膜

         

        l样品台可以加热,最高温度可达600℃(根据配置不同可能会有变动,具体请咨询销售部)

         

         

         

         

         

         

         

        真空系统
         

         

        l安装有KF40真空接口

         

        l真空度:4.0e-5Torr(分子泵)参考值,具体请点击

         

        l可在本公司选购各种真空泵

         

         

         

         

        进气

         

        l设备上配1/4英寸进气口方便连接气瓶

         

        l设备前面板上装有一气流调节旋钮,方便调节气流

         

         

         

         

         

        靶材

         

        l所要求靶材尺寸:直径为25mm,最大厚度3mm

         

        l可在本公司选购各种靶材

         

         

         

         

         

        薄膜测厚仪(可选)

         

        可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上

           

         

        净重

        60Kg(不包括泵)

        质量认证

        CE认证

         

         

         

        质保

         

        一年保修,终身技术支持。


        特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

         

        点击查看售后服务承诺书。

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        使用提示

         

         

        l此设备为DIY设备,参数变化较大购买前请务必电话仔细沟通

         

        l为了得到较好的薄膜质量,必须通入高纯气体(建议> 5N)

         

        l在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

         

        l要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面

         

        l超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分。

         

        l等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物。

         

        l制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力。

                       
          超声波清洗机        等离子清洗机           蒸镀仪           手套箱  

         

         

         

         

        警告

         

        l注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。

         

        l气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用

         

        l溅射头连接到高电压。为了安全操作者必须关闭设备前装样和更换靶

         

         

         

        免责声明

         

        本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。