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        • 产品名称: 加热型紫外臭氧清洗机--PCE-22
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: PCE-22

        下载附件:

           PCE-22是一款可加热型的紫外臭氧清洗机,其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片,为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶,改善表面润湿性,清洗SEM &TEM,紫外对聚合物改性等。
           紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段,特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧,254nm可以破坏化合物中的键(特别是碳碳键)。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。

         

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        技术参数

        名称

        加热型紫外臭氧清洗机--PCE-22

         

         

        主要参数

         

        ·功率:最大350W

         

        ·AC 208~240V,单相 50/60Hz

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        应用

         

        ·去除分子级别的污染物

         

        ·紫外光固化粘合剂

         

        ·紫外光催化

         

        ·氧化PDMS

         

        ·表面消毒

         

        ·刻蚀

         

        ·清洗MEMS 器件

         

        ·清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

         

         

         

         

        紫外灯

         

        ·可发出双波长的水银灯

         

        ·功率:55W

         

        ·发出光的波长:254 nm 和 185 nm

         

        ·使用寿命:2500 小时(可更换)

         

        ·照射区域:200 x 200 mm

         

         

         

         

         

         

         

        腔体&样品台

         

        ·不锈钢壳体

         

        ·抽屉式样品台,以便放样取样

         

        ·样品台面积310 mm x 320 mm

         

        ·臭氧通风装置安装在腔体上

         

        ·样品台与紫外灯的距离:20mm-40mm(可调)

         

        ·样品台可以加热,最高温度可达150℃

         

        ·可设置20段升降温程序,控温精度为+/-1℃

         

        ·设备运行时间:0.01 秒- 99.9小时

         

         

        排气口

         

        ·直径为80mm的排气口安装在仪器后端

         

        ·请将橡胶管与排气口连接,将臭氧排出到实验室外

         

        ·仪器中不包含橡胶管

         

         

         

         

         

         

        环境要求

         

        ·仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内

         

        ·温度范围41-104华氏度

         

        ·最大相对湿度80%,最高87华氏度,104华氏度线性降至50%相对湿度

         

        ·主电源波动不超过额定电压的10%

         

        ·污染等级2; 臭氧水平(环境)测量<45 ppb

         

         

         

        外形尺寸

        510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

        净重

        28kg

        认证

        CE认证

         

         

         

         

        质保期

         

        一年保修,终身技术支持。

         

        特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

         

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        免责声明

         

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