中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 小型大口径开启式管式炉--OTF-1200X-5S
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

            OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉,其最高工作温度可以达到1000℃。炉管Φ130mm的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1。此款管式炉最多可对4英寸的晶片进行退火。

         

        技术参数

        炉体结构

        • 双层壳体结构
        • 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率,保证温度均匀性
        • 此款管式炉也可做为立式炉使用(点击图片查看详细资料)
        •   

        功率

        3KW

        电压

        220VAC 50/60Hz

        最高工作温度

        1000℃(<1小时)

        连续工作温度

        900℃

        最大加热速率

        20℃/min

        加热区

        • 加热区长度:300mm
        • 恒温区长度:
        • 100 mm (+/-1ºC )
        • 140 mm (+/-2ºC ) 

        温控系统

        • 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序
        • 带有超温和断偶保护
        • 可选购MTS02-B控温模块,可用电脑设置和显示温度程序
        •                

        欧陆仪表(可选)

        • 可选购欧陆3504温控仪表,可与LABVIEW软件比配

        控温精度

        +/- 1°C

        炉管

        • 石英管,尺寸:130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL
        • 配有2个氧化铝管堵,使用设备时应放在炉管两端,保证恒温区和法兰密封性
        • 可选购石英管堵,提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空
        •       

        真空密封法兰

        • 配有一对不锈钢密封法兰,采用硅胶密封圈密封
        • 右端法兰为KF25接口,用于连接真空泵
        • 左端法兰上安装有机械压力表,接口为1/4英寸卡套接头,用于连接气瓶
        • 真空度:10-2torr (采用机械泵)
        • 可选:5英寸的水冷铰链法兰,并带有支撑架
        • 水冷法兰通入冷却水后,设备最高温度可以达到1100℃(<1小时)    

        真空压力表

        • 安装有一机械压力表,测量范围为-0.1~0.15MPa
        • 可选购数显防腐真空计当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而进行系数转换,测量范围为3.8x10-5 -1125 Torr
        •    

        铠装热电偶(可选)

        • 可选购铠装K型热电偶,通过法兰的铠装孔伸入到炉管内部,测量样品的实际温度
        • 可选购一个法兰支撑架,防止炉管转动
        •         

        尺寸

        • 炉盖打开关闭时: 430mm(L) × 480mm(W) × 480mm(H) 
        • 炉盖打开时 : 660mm(L) × 480mm(W) × 720mm(H)

        净重

        48 Kg

        质保期

        一年质保期,终生维护(不包含炉管,密封圈和加热元件)

        质量认证

        应用注意事项

        •  
        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)