中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 1100℃双温区大口径管式炉--GSL-1100X-11-S2(炉管直径11英寸)
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

            GSL-1100X-11S2是一款双温区的大口径管式炉,其炉管直径为11英寸(279mm),炉管两端安装有铰链式不锈钢密封法兰。此款管式炉可广泛地应用于在真空或气氛保护环境下对材料进行烧结或退火等热处理。温控方面,设备可达到最高温度为1100℃,可设置30段升降温程序,控温精度为+/-1
         

        技术参数

        炉体结构

        • 采用双层壳体结构,并且有4个冷却风扇安装在炉体内部,使设备表面温度小于60℃
        • 两端法兰底部安装有冷却风扇,保证设备工作时,保证设备使用时法兰温度低于70℃
        • 炉膛材料采用高纯氧化铝纤维
        • 设备中配有2个泡沫陶瓷管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性)(点击图片查看详细资料)
        •    

        电压

        208 -230VAC 单相

        最大功率

        8KW(需要50A的空气开关)

        加热元件

        掺钼铬铝合金

        工作温度

        • 最高加热温度:1100℃(<1小时)
        • 连续工作温度:400 -1050
        • 最大升温速率:20/min

        炉管尺寸

        • 石英管:279 O.D x 269 I.D x 1000mm L
        • 可在本公司选购8英寸石英架(用于晶片退火),石英平台和各种石英坩埚
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        加热区

        • 2个加热区,每个加热区温度是300mm
        • 总加热区长度600mm
        • 恒温区:300mm(+/-1,两个温区设置同样的温度)注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

        温控系统

        • 两个控温仪表分别独立控制两个温区,都采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序
        • 安装有辅助监控仪表
        • 热电偶:K型热偶
        • 控温精度: +/-1
        • 可选购控温软件和PC模块,可用电脑来设置和检测设备加热温度
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        真空密封&接口

        • 一对不锈钢铰链式真空水冷密封法兰
        • 法兰底部安装有冷却风扇,保证设备使用时法兰温度低于70℃
        • 进气端法兰上安装有机械压力表,进气接口为Φ6.35卡套式接口,抽气端法兰接口为KF25
        • 真空度:10-2Torr(采用双极旋片式机械泵)
        • 可选购带有石英观察窗口的水冷法兰
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        产品尺寸

        • 1000L x 680W x920 Hmm

        净重

        250kg

        质保

        一年质保期(不包含炉管、加热元件和密封圈)

        质量认证

        应用注意事项

        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)