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        • 产品名称: 小型直流磁控等离子溅射仪--VTC-16-D
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

            VTC-16-D是一款小型直流磁控等离子溅射镀膜仪,其靶头尺寸为2英寸,并且样品台的高度可以调节。此款镀膜仪设计主要是制作一些金属薄膜,最大制膜面积为4英寸。


        技术参数

         

         

        电源


        • 220VAC50/60Hz

        • 功率200W

         

         

        输出


        • 500 VDC


        • 最大电流:50 mA

         

        溅射腔体

        采用石英腔体,尺寸:165 mm OD. x 152 mm ID x 145 mm H

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        溅射头&样品台


        • 溅射头可安装靶材直径为2英寸


        • 仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台,其高度可以调节


        • 可选购加热型样品台,其最高加热温度为500℃


        • 安装有一可手动操作的溅射挡板


        • 样品台与溅射头之间可调节距离为60-100mm


        • 最大可制膜的直径为:4英寸(点击图片查看详细资料)
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        真空系统(标配)
         


        • 安装有KF25真空接口


        • 此系统运行需要Ar气,并且气瓶上安装有减压阀(设备中不包含)


        • < 1.0E-2 Torr (采用机械泵,可溅射 Au, Ag, Pt, Cu, Mo靶材)


        • < 1.0E-5 Torr(采用涡旋分子泵,可溅射Al, Mg, Li, Cr, Ti, Zn 靶材)


        • 可在本公司选购各种真空泵

         

         

         

        靶材

        • 靶材尺寸要求:Φ50mmx (0.1 - 3) mm(厚度)
        • 此款设备适合溅射Au, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg等各种金属
        • 可在本公司选购各种靶材

         

         

         

         

        薄膜测厚仪(可选)


        • 可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上
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        产品外型尺寸

        • L460 mm × W 330 mm × H 520 mm

         

         

        净重

        20 kg

        质量认证

        CE认证

        质保

        一年质保期,终生维护

         

         

         

         

         

        使用注意事项及溅射各种靶材的参数


        • 注意:溅射靶头与高压电源连接时,操作者必须戴上绝缘手套

         

        • 在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

         

        • 有时为了达到理想的薄膜厚度,需要多次溅射镀膜

         

        • 对于溅射各种金属靶材,需要摸索最理想的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数(仅供参考)

        靶材种类

        真空度(Pa)

        溅射电流(mA)

        时间(s)

        溅射次数

        Au

        31-33

        28-30

        100

        1

        Ag

        31

        28

        100

        1

        Fe

        20

        20

        100

        >10

        Ni

        25

        25

        100

        >10