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        • 产品名称: 薄膜测厚/层积速率显示仪--TM106-LD
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

            TM106-LD薄膜测厚仪/层积速率显示仪的工作原理,是依据所测样品薄膜厚度的改变而导致石英晶片振荡频率改变。将所蒸发材料的密度输入到测试系统中,便可测量层积薄膜的厚度。此款测厚仪的分辨率为0.037 Å。

         

        技术参数

        功率

        400 mA, 5V (dc)

        测试频率范围

        6.0 - 5.0 MHz

        频率分辨率

        +/- 0.03 Hz @ 6 MHz

        测量区间

        0.10s

        参考频率稳定性

        +/- 2 ppm

        厚度和速率分辨率

        +/- 0.037Å  基频=6MHz

        厚度显示分辨率

        1 Å  

        尺寸

        11.4 x 7.6 x 2.5 cm

        重量

        57g

        操作系统

        Windows 8, Windows 7, Windows Vista, Windows XP, 或Windows 2000

        晶体探针架

        • 探针长度:120mm
        • 探针直径:10mm
        • 安装有水冷夹层,保持探针的温度低于150℃

        软件

        包括STM-2软件
         

        可选石英晶体

        • 含金石英晶体:用于测试金属薄膜厚度
        • 合金石英晶体:用于测量非金属薄膜厚度

        安装

        质保期

        一年质保期,终身维护

        应用

        • 选择合适的石英振荡晶体,分为含金石英晶体和合金石英晶体
        • 含金石英晶体,适用于大多种材料测试
        • 合金石英晶体建议用于测试光学薄膜,介电薄膜或半导体膜等