中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 2000℃温度可控型30KW感应加热炉--SP-85KTC
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

                SP-85KTC是一款较大型高温感应加热/熔炼炉系统,配用30KW感应加热器,8.5英寸(216mm)石英管,铰链式法兰及阀门,石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯,16L/min循环冷水机,真空泵和移动炉架。针对于生长晶体,金属熔炼和各种材料的热处理是绝佳的实验帮手。仪器最高温度可以达到2000℃(使用时石英管内需通入保护性气体)。

         

        警告:
        使用此仪器时,熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行,流量小于200ml/m需始终保持石英管内的气压<0.02MPa,操作仪器前,必须仔细阅读说明书,而且操作人员需带防护面罩。实验升温过程中需时刻注意石英管内的气压,若气压超过安全值,会引起石英管开裂,法兰蹦出甚至造成人身伤害。

        操作视频


         

        技术参数

        感应加热器

        • 工作电压: 三相380VAC 50Hz   (60A空气开关)
        • 工作电流: 7~70 Amps (100A空气开关)
        • 最大震荡功率: 30KW
        • 最大输入功率: 15KW 
        • 输出频率: 30 - 100kHz 
        • 占空比: 80%
        • 感应线圈: 220mm(ID) x 65mm(H) 
        • 空气冷却后风扇
        • 保护系统:带有自动水压、过热、功率过高保护
        • 耐火材料配有多块采用氧化铝制作的耐火材料,用于支撑石墨坩埚,和防止热量辐射

        温度控制器 & 热电偶

        • 工作电压: 208~240V AC, 单相
        • 采用PID方式控温 ,可设置30段升降温程序,控制升温和降温
        • 设备带有过热和断偶保护功能
        • 控温精度+/- 3 ºC 
        • 热电偶C type, 1/4'' O.D x 10'' Long
        • 连续工作温度范围: 1000ºC~2000ºC
        • 最大升温速率:
          ***4ºC/second(1000ºC-1200ºC)
          ***3ºC/second(1200ºC~1500ºC)
          ***1ºC~2ºC/second (1500ºC~2000ºC)

        石墨坩埚和耐火砖

        • 高纯石墨坩埚: 114 mmOD x 100 mm ID x 142mm Height,  
        • 最大容量:样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2
        • Max. mleting capability:  4 kg for Iron (tested)
        • 保温层:石墨坩埚外环绕三层隔热材料,从里到外分别为石墨毡—氧化铝高温毡,总厚度为32mm,石墨保温毯(可耐温2200℃)氧化铝毯(耐温1700℃)
        • 注意石墨坩埚是易耗件
           

        密封法兰
        石英管

        • 两端开口的石英管尺寸: 216 mm(OD) x 208 mm(ID) x 500mm(L)
        • 顶部法兰:  采用不锈钢折叠式法兰,带有一1/4”的铠装接口(可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度)法兰上安装有不锈钢截止阀
        • 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接
        • 仪器中配有KF25挡板阀和KF25*1000mm的波纹管,以便与真空泵相连接
             

        防腐型真空计(可选)

        当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而进行系数转换,量程可到3.8x10E-5 torr

        流量计

        • 迷你型浮子流量计
        • 精度: 4%

        水冷机

        • 温度范围 5 - 30°C
        • 水流速:   > 16 L/m
        • 水箱容积: 12Liters 采用不锈钢制作
        • 水压≥0.1MPa,流量≥5L/Min
        • 注: 建议采用特定的冷却以达到最佳冷却效果

         

        真空泵

        • 仪器中配有一2L/S的双极旋片机械泵,使管内的真空度达到10e-2 torr
        •  工作电压AC 208 -240V, 单相

        移动炉架
         

        • 结构: 钢框架结构
        • 800mm×600mm的移动炉架可方便移动电感应加热器和带有法兰的石英管
        注意 此设备可改为RTP(快速热处理炉)和混合物理化学气相沉积(HPCVD)系统,请点击下面的图片查看,如您有任何特殊需求可联系我们

        外形尺寸
         

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        质保期

        一年质保期,终身维护相关耗材除外,如炉管密封圈等易耗件