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        • 产品名称: 小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

             OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ50×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热,最大升温速率为100/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
         

        技术参数

        炉体结构

        • 两个炉体在一个滑动轨道上,炉体最高工作温度1200℃
        • 每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm
        • 一个滑动轨道安装在两炉体底部,可手动推动炉体滑动
        • 仪器中配有不锈钢密封法兰

        总功率

        2.5KW

        电压

        AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, (需要20A的空气开关)

        最高工作温度

        1200℃

        连续工作温度

        1100℃

        加热&冷却速率

          加热速率:

         15°C/sec (RT - 150°C);

         10°C/sec (150°C - 250°C);

          7°C/sec (250°C - 350°C);

          4°C/sec (350°C - 500°C);

          3°C/sec (350°C - 550°C);

          2°C/sec (550°C - 650°C);
          1°C/sec (650°C - 800°C);
          0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

        冷却速率:

        15°C/sec (1000 - 950°C);

        10°C/sec (950°C - 900°C);

        7°C/sec (900°C - 850°C);

        4°C/sec (850°C - 750°C);

        2°C/sec (750°C - 600°C);
        1.5°C/sec (600°C - 500°C);
        1°C/sec (500°C - 400°C);
        0.5°C/sec (400°C - 300°C);

        注意

        最大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的,将炉体加热到目标温度,然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后,滑动炉体,使样品暴露在加热区外,来实现快速冷却

         

        加热区长度

        每个炉体的加热区为200mm

        恒温区

        60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

        加热元件

        掺钼铁铬铝合金

        炉管

        • 高纯石英管
        • 尺寸:50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL

        温度控制系统

        • 两个炉体都采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序。
        • 控温仪表操作视频
        • 设置有超温和断热偶报警
        • 包括2个K型热电偶(已安装在炉体上)
        • 可选:可选择控制模块MTS-02,可使用电脑来控制炉体的升降温
           (点击图片查看详细资料)

        真空法兰

        • 仪器中包含一对不锈钢密封法兰,法兰上安装有机械压力表
        • 可选购KF25接口的法兰(提高抽气速率),防腐型真空计
           

        滑轨长度

        1200mm

        真空度

        • 10E-2 torr(采用机械泵)
        • 如您想获得更高的真空度(<10-5 torr or better) 可选国产或进口高真空机组
        • 可在本公司选购真空泵
            

        可选

        • 可选择电动滑轨,更好的控制快速升降温速率 
        • 1-9通道质量流量计(MFC)控制的供气系统
        • 100W-500W的射频等离子源
        • 这些模块与管式炉配合可搭建起等离子增强的TCVD系统
            

        尺寸

        1500 x 380 x 620 mm(炉体+滑轨)

        净重

        约80kg

        质保期

        一年质保期,终身维护(不包括炉管、密封圈和加热元件)

        质量认证

        使用注意事项

        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
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