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        • 产品名称: 小型等离子清洗机--PCE-6V
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

             PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内彻底清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。另外,其样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

         

         技术参数

        主要特点

        •    采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。
        •    可短时间内彻底清洗掉有机污染物。
        •    清洗程度可达到分子级。
        •    可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
        •    清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。
        •    样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。
        •    广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

        参数

        •    电压:AC220V  10A
        •    消耗功率:<500W(包括真空泵)
        •    RF电源:输出功率100W,输出频率13.56MHz
        •    腔体:Φ190mm×98mm
        •    石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm
        •    内腔:Φ165mm×55mm
        •    清洗电极:Φ120mm
        •    样品台:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm
        •    样品台与电极间距:15mm-50mm可调
        •    抽气管:Φ12mm
        •    极限真空度:0.1Pa
        •    工作真空度:60Pa-500Pa
        •    气路数量:2路(选装)
        •    流量控制器数量:12
        •    流量显示仪:2通道
        •    气路接口:Φ6mm
        •    加热样品台:Φ140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装)
        •    冷却水压力:0.2KPa-0.4KPa
        •    工作环境:温度5-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m

        产品规格

        •  尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
        •   重量:20kg(不含真空泵)

        可选配置

        •    加热样品台
        •    流量控制器(量程1050100,最多可增加2个通道)