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        • 产品名称: 小型等离子清洗机--PCE-6
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

                PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz1%),输出功率7.2W10.2W29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

         

         

        技术参数

        主要特点

        • 通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
        • 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
        • 设有一个三通阀,可精确控制进气流量,以及大气流清洗腔体。
        • 选用大功率色射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

        参数

        • 电源:AC220V  50/60Hz
        • 输出功率:7.2W10.2W29.6W
        • 真空泵功率:<500W
        • 总功率:<600W 
        • 射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节
        • 等离子腔体:高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗
        • 真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵
        • 极限真空度:50mtorr
        • 通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2ArH2O2Air和混合气体等(根据材料性质选定)

        等离子清洗机及刻蚀的方法

        (点击图片查看详细资料)

        产品规格

        • 尺寸:400mm×300mm×300mm
        • 重量:10.2kg

        可选配件

        • 2″-6″石英舟(盛放基片)
        • 2-4通道质子或浮子混气系统

        质保期

        一年质保期,终身维护