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        • 产品名称: 膜厚监测仪--EQ-TM106
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

                 EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。

        技术参数

        主要特点

        • 本机可与计算机连接。
        • 显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点,可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM  
        • 控制输出的百分比等工作状态。
        • 通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置,并可将所测相关数据写入Excel文件。
        • 具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。

        EQ-TM106-1监测组件

         

        • 电源:DC   5V(±10%),最大电流400mA
        • 频率分辨率:±0.03Hz
        • 膜厚分辨率:0.0136Å(铝)
        • 膜厚准确度:±0.5%,取决于过程条件,特别是传感器的位置,材料应力,温度和密度
        • 测量速度:100ms-1s/次,可设置
        • 测量范围:500000Å(铝)
        • 标准传感器晶体:6MHz
        • 计算机接口:RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置,数据位:8,停止位:1,校验:无)
        • 模拟输出:8比特分辨率,PWM脉宽调制输出(集电极开路或内部5V输出)
        • 工作环境:温度0-50℃,湿度5%-85%RH,不得有冷凝水珠
        • 外形尺寸:90mm×50mm×18mm

         

        EQ-TM106-2显示仪

         

        • 输入电源:AC 220V±10%
        • 输出电源:DC   5V  3A
        • 显示器:12×2数码管与LED
        • 通讯端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置,数据位:8位,停止位:1位  ,奇偶校验:无)
        • 外形尺寸:182mm×65mm×160mm

         

        EQ-TM106-3探头

         

        • 适用晶片频率:6MHz
        • 适用晶片尺寸:Φ14mm
        • 安装法兰:CF35
        • 冷却水管:Φ3mm,长度300mm、500mm、1000mm
        • 冷却水压:<0.3MPa
        • 气动挡板路管:Φ3mm
        • 压缩空气压力:<0.8MPa,> >0.5MPa
        • 烘烤温度:通水状态<200℃,不通水状态法兰<100℃
        • 电气接口:BCN插座

        标准配件

        1

        EQ-TM106-1监测组件

        1个

        2

        EQ-TM106-2显示仪

        1台

        3

        EQ-TM106-3探头

        1个

         

        质保期

        一年质保期,终身维护