中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
科晶新品
根据应用寻找设备
根据应用寻找晶体
-- A-Z晶体及材料 --
A-Z系列晶体
A-Z系列靶材
A-Z系列蒸发料
A-Z系列薄膜
A-Z系列金属丝箔 
A-Z系列粉料 
陶瓷玻璃及其他基片
晶体包装材料及工具

功能纳米材料

3D打印合金粉
-- 加热炉系列 --
箱式炉
管式炉
混合箱/管式炉
高通量炉
CVD系统
氢气炉/高温高压炉
RTP快速退火炉
熔炼/铸造系列
晶体生长炉
工业炉
烘箱/真空储存箱
加热炉配件及耗材
-- 薄膜制备设备 --
等离子镀膜设备
蒸发镀膜设备
流延涂覆设备
化学气相沉积薄膜设备
静电纺丝/喷涂设备
丝印涂覆设备
旋涂/提拉涂覆设备
薄膜检测设备
-- 样品处理设备 --
混料、球磨系列设备
实验室压机/辊压机
清洗机设备
切割设备
研磨抛光设备
-- 电池研发全套设备 --
扣式电池研发设备
柱状电池研发设备
软包电池研发设备
超越锂电/固态电池
太阳能电池/燃料电池
电池测试设备
电池研发材料
-- 其他实验室设备 --
气、液、固进料系统
真空系统
手套箱
检测设备
水冷机
电子天平
配件耗材

        • 产品名称: 2英寸500W直流等离子磁控溅射镀膜仪-VTC-2DC
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: VTC-2DC

        下载附件:

              VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如500W600V)的DC电源、2英寸的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜,它是一款物美价廉的实验手。

         

              免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

         

        用直流磁控溅射仪可获得单相Al

         

         技术参数

        设备名称

        500W直流等离子磁控溅射镀膜仪-VTC-2DC

         

         

         

         

        主要参数

         

        输入电源:220V AC 50Hz   

         

        输出电压:600 VDC

         

        输出功率:最大500W

         

        整机功率1000W包括真空泵)

         

         

         

         

        溅射腔体

         

        l采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 250 mm H(配置直靶头)

                                         尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 290 mm H(配置带角度倾斜靶头)

         

        l密封法兰:直径为165 mm,采用金属制作,密封采用O形密封圈

         

         

         

         

        溅射头&样品台

         

         

         

        l溅射头安装靶材直径为2英寸,同时可选配1英寸溅射头

          
            1英寸靶头         2英寸靶头

         

        l仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台,其与溅射头之间距离40-80mm可调

         

        l样品台可加热加热温度RT-500℃RT为室温)

         

        l安装有一可手动操作的挡板

         

        l最大可制膜的直径为:2英寸标配2英寸,如果需要更大尺寸请与我们销售联系

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        真空系统
         

         

        l安装有KF25真空接口

         

        l数字真空压力表(Pa)

         

        l此系统运行需要Ar气,并且气瓶上安装有减压阀(设备中不包含)

         

        l采用机械泵< 3.8E-2 Torr(参考值,详情请点击

         

        l采用涡旋分子泵< 3.8E-5 Torr(参考值,详情请点击

         

        l可在本公司选购各种真空泵

         

         

         

        进气

         

        l设备上配1/4英寸进气口方便连接气瓶

         

        l设备前面板上装有一气流调节旋钮,方便调节气流

         

         

         

         

         

        靶材

         

        l靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1-5)mm(厚度)

         

        l可在本公司选购各种靶材

         

         

         

         

        薄膜测厚仪(可选)

         

        可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上

           

         

         

         

         

        产品外型尺寸

         

        540 mm L x 540 mm W x 1100 mm H

          

        净重70 kg(不包括泵)

        质量认证

        CE认证

         

         

         

        质保

         

        一年保修,终身技术支持。


        特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

         

        点击查看售后服务承诺书。

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        使用提示

         

         

        l有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜

         

        l为了得到较好的薄膜质量,必须通入高纯气体(建议> 5N)

         

        l在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

         

        l要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面

         

        l超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分。

         

        l等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物。

         

        l制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力。

                       
            超声波清洗机           等离子清洗机                 蒸镀仪                 手套箱  

         

         

         

         

        警告

         

        l注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。

         

        l气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用

         

        l溅射头连接到高电压。为了安全操作者必须关闭设备前装样和更换靶

         

         

         

        免责声明

         

        本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。