中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 高真空腔体--HVC-SS
        • 产品提示: 以下数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

          本公司提供高真空腔体,客户可自行为一些实验搭建真空系统,如等离子溅射,CVDALD等实验,同时也可作为高真空储存箱。

         技术参数

        腔体

        • 真空腔体是采用304不锈钢制作
        • 内部尺寸为:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H) 
        • 真空腔体前部安装有一个直径为350mm的门,而且门上面有一个直径为150mm的玻璃窗口
        • 门部位采用硅胶密封圈密封
        • 真空度可达到1×10-6 torr
        • 内部加热平台的温度可达到150

        接口

        • 腔体后端有一个KF40接口,用于连接真空泵
        • 顶部有一1/4 NPS 
        • 顶板可以进行打孔和改造,以便于安装各种接口和接头
        • 客户可在本公司购买快速真空接头

        可选

        • 本公司进口的防腐型数字式真空显示计,不需因测量气体种类不同而需要系数转换(请点击图片查看详情)
        • 分子泵系统(可选配)
        外形尺寸

        质保期

        一年质保期,终身维护