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        • 产品名称: 1000℃小型RTP炉--OTF-1200X-4-RTP
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件: 1100℃RTP炉装箱单 【查看】

            OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4" 石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热最快升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。(与此设备有关的论文连接,请点击查看

         

         

            免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

         

         技术参数

        名称    小型RTP快速退火炉

         

         

         

         

        视频

         
             
             展示视频       操作视频

         

         

         

          基本参数

          

             温度最高1100ºC (长期1000°C)     加热区加热区长度12" ;恒温区长度4"( +/-5ºC )

         

             热偶进口K 型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下。  电源208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 额定功率12KW (> 60A 保险) 

         

         

         

         

         

         

          加热元件

          

        8 根红外灯管 (直径10 总长300 加热长度 200, mm)(点击图片查看详情)


         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

          升温降温速率

          

          最快升温速率

         

                  室温~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃: 10oC/sec

         

            最快降温速率

         

        60ºC/min (在 200 mtorr下), 117ºC/min (在一个大气压下) 
         
        选择:  为得到较快的降温速度 < 10°C/秒, 你可以选择带滑轨的 RTP 炉,如下图:
         
           

         

         

         

         

         

          炉体结构


         

         

         

         

         

          石英管和样品架


        • 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
           
        • 3" 的样品架固定在滑动法兰上,石英材料
           
        •  一片3"  AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。
           
        • AlN 具有很高的热导率,所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性+\- 5°C

         

         

         

          真空法兰


        • 带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作,两个高温“O”型圈密封
           
        • 滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。

         

         

         

         

         

         

         

         

          水冷

             

            如果要求通冷却水.

         

        • 请确定冷却水流速 ≥ 3L/min, 水温 < 20ºC; 水压 > 25 PSI
           
        • 我们建议采用 循环水制冷器作为冷却系统(为了节约用水).
           
        • 警告:  这款 RTP 炉在1000ºC ~ 1100ºC下保温时间不超过 600 秒,否则“ O”圈将被烧融
           
         
          流量计

              范围: 16 - 160 ml/min

         

         

         

         

         

         

         

          真空表

         

        • 标配:数字真空表测量范围为10-4 -1000 Torr;在测量腔体真空度为10-4- 10-3Torr前必须进行零点校准,否则,显示真空度会有较大的偏差;LED数字式显示,显示单位分为torr mtorr;接口规格为1/8"NPT;CE认证;输入电压: 110V~220V。
           
        • 注意:此表是在氮气下校准的,只有在氮气和空气下表上显示的是实际压力,当通入任何其他气体时,必须参考说明书中的相对气体对照表,否则后果会很严重。
               
           

         

         

         

         

         

         

         

          真空度

         
        • 用机械泵真空度达 50 mtorr .
           
        • 用分子泵真空度可达 10-4 torr .

         


         

         

         

         

         

         

         

          温控系统


        • PID 自动控制,30段程序带过热和断偶保护功能
           
        • 热偶: 进口K type
           
        • 自整定功能
           
        • 控温精度: +/- 1°C
           
        • RS485 串口和温控软件(模块和数据线需要另购)
           
        • 温度控制:PID 自动控制, 可控硅 SCR    
           
        • 温控操作视频:点击查看

         

         

         

         

         

          注意

          

            此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发)炉(可查看下方的图片自己制备RTE
             

         

         

         

         

         

          尺寸

         
        760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H) 
         
          质量
        45 kg (100 lbs) 
          保修期
        电器部分一年质保期 (耗材:如炉管,“O”型圈和加热灯管等不在保修范围内)
          认证
         
         

          国家专利               

            专利名称:一种快速高温退火炉

            专利编号:ZL-2011-2-0077168.4

            尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究

          使用注意事项
        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
           
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
           
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
           
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
           
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
           
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

         

         

         

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