• 产品名称: 3”等离子清洗机--PDC-36G
  • 产品编号: PD-C-36G
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

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    PDC-36G 等离子清洗机是一种紧凑型、低成本的等离子清洗机。使用空气、氧气、氩气等离子去除纳米级有机物污染。在射频电源的作用下,去除速率最大每分钟10纳米。在单晶材料外延薄膜生长以前进行预处理,对生长具有显著的作用 

 

  技术参数

主要特点

  • 结构紧凑、桌上型仪器; 
  • 使用可调射频电源; 可以设置功率为低、中、高级别; 低成本、环境友好、操作安全。

参数

  • 输入电压:110/220,50/60Hz,小于100W(请在订货时说明);
  • 输出频率:13.56MHz;
  • 等离子直流电源:
  • 低功率设定:直流680V10mA,6.8W;
  • 中功率设定:直流700V15mA,10.5W;
  • 高功率设定:直流720V25mA,18W;
  • 等离子腔室:    直径75mmx165mm,耐热玻璃    前盖可以拆卸。
  • 真空泵和阀的要求: a,大于每分钟160L
                                            b,极限压力:200mtorr或者0.27mbar
                                            c,可以选择数字真空表
                                            d,针阀控制气体流量
                                            e,采用三通阀门快速控制进气、密封等离子腔室、排气
  • 气体:多种气体可以用于等离子清洗,例如氮气、氩气、空气、混合气体,主要取决于处理何种材料。
  • 警示:不能使用可燃性气体。
  • 外形尺寸:200mmx250mmx210mm 8、净重:(不含泵)8kg

可选真空计

(点击图片查看详细资料)

  • 可选本公司生产研发的电阻真空计
  • 此款真空计是以Pirani电阻规在不同真空环境下体现的热传导特性为原理而研发的一款低真空测量仪器特别适应于从常压到0.1Pa非腐蚀性气体环境的真空度测量。
      

等离子清洗及刻蚀的方法

     

质保期

一年质保期,终身维护

操作视频

等离子清洗器

 

 

 

 

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