• 产品名称: 等离子清洗机- PCE-80
  • 产品编号: PCE-80
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  • 产品型号:

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    PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

 

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技术参数

 

 

 

 

 

输入电源


  • AC 220V , 50/60 Hz, 

 

 

  • 最大射频功率: 100 W 

 

 

  • 真空泵功率: < 500W

 

 

  • 总功率: < 600W

 

 

 

 

 

 

射频功率


  • 射频功率可在 0 - 100W之间调节

 

 

  • 射频:   13,56 MH

 

 

  • 可以与本公司工作人员联系采用300W或500W的射频电源,来进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验

 

 

 

 

 

 

等离子腔体


  • 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体

 

 

  • 铝制折叠式法兰来进行真空密封

 

 

  • 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

 

 

 

 

 

控制面板


  • 通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等.

 

 

  • 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量

 

 

 

 

 

 

 

真空泵(选配)


 

 

  • 极限真空度为50mTorr

 

 

通入气体

等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, AirH2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

 

 

 

 

 

 

可选


 

 

  • 可选购2-4通道质子或浮子混气系统

 

 

外型尺寸

620 L ×450 W ×600 H, mm

质保期

一年质保期,终生维护

 

 

 

 

 

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