RF-300I是一款小型300W的射频发生器，而且容抗和感抗可以自动匹配，频率为13.56MHz。此款产品将自动匹配器和13.56MHz的射频电源集成在一起，使得安装和操作更加方便容易。客户可配用本公司的磁控溅射头来自己搭建磁控溅射镀膜仪。
技术参数
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射频发生器
（点击图片查看详细资料）
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输出功率：5-300W（可调），稳定性：± 1%
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射频频率：13.56 MHz ，稳定性：±0.005%
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匹配：自动匹配，空气电容
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冷却: 空气冷却
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噪音:<50 dB
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电源: 110 -240VAC, 50/60Hz
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尺寸:400 W x 450 D x 80 H, mm
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图片中显示的溅射头，产品报价中不包括，需额外出费用在本公司购买
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可选配件
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2英寸高真空磁控溅射头，可自己搭建RF或DC溅射镀膜仪
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当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时，本公司会赠送一高真空快速接头
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此快速接头的内径为0.75英寸，可将溅射头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1英寸，真空腔体的壁厚不得大于1英寸
 
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循环水冷机，流量为16L / min ，水箱容积为6L
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外形尺寸 |
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质保期
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一年质保期，终身维护
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