• 产品名称: 小型300W自动匹配型射频发生器--RF-300I-LD
  • 产品编号: RF-300I
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

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   RF-300I是一款小型300W的射频发生器,而且容抗和感抗可以自动匹配,频率为13.56MHz。此款产品将自动匹配器和13.56MHz的射频电源集成在一起,使得安装和操作更加方便容易。客户可配用本公司的磁控溅射头来自己搭建磁控溅射镀膜仪。

技术参数

射频发生器

(点击图片查看详细资料)

 

  • 输出功率:5-300W(可调),稳定性:± 1% 
  • 射频频率:13.56 MHz ,稳定性:±0.005%
  • 匹配:自动匹配,空气电容
  • 冷却空气冷却
  • 噪音:<50 dB
  • 电源: 110 -240VAC, 50/60Hz
  • 尺寸:400 W x 450 D x 80 H, mm
  • 图片中显示的溅射头,产品报价中不包括,需额外出费用在本公司购买

可选配件

  • 2英寸高真空磁控溅射头,可自己搭建RFDC溅射镀膜仪
  • 当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时,本公司会赠送一高真空快速接头
  • 此快速接头的内径为0.75英寸,可将溅射头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1英寸,真空腔体的壁厚不得大于1英寸
     
  • 循环水冷机,流量为16L / min ,水箱容积为6L
        
外形尺寸    

质保期

一年质保期,终身维护

 

 

 

 

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