• 产品名称: 3靶等离子溅射仪--VTC-16-3HD
  • 产品编号: VTC--16-3HD
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

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        VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),基片最大尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料,金靶,银,铜, 它可以与真空泵,不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用.


技术参数

   
名称 3靶等离子溅射仪

 

 

 

视频

 
         操作视频

 

输入功率

  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

 

输出功率

  • 1600VDC
  • 最大电流50mA 

样品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

 

样品台


  • 一个外径50 mm 的样品台基片可以放在样品台上,可以移动三个位置 

  • 可选购加热型样品台(最高温度可到500℃)

  • 最长溅射时间不可超过5分钟

控制面板


  • 控制面板为PLC,4.3触摸屏

  • 一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度 , 电流 , 靶材位置基片加热温度

 

 

 

 

 

真空泵(选配)

 

 


  • VRD-8 120L/M旋片式真空泵(选配)

  • KF25 真空接口、卡箍,和600mm长不锈钢波纹管

  • 不锈钢波纹管与KF-25真空接口相连接

  • 各种高纯度金属靶

  • 需要一个带压力调节器的氩气瓶 (这个我们不提供)

进气口

 一个精密可调针阀安装进气口,以实现方便的调节进气量



 

 

 

靶材

 


  • 要求安装靶材的尺寸:直径Φ47mm,厚度0.5-3mm

  • 经试验证明此款仪器可溅射的靶材:Au、Ag、Pt、Cr和Ni

  • 不可溅射靶材:氧化物、半导体、一些轻金属、Al、Zn、C等

 外形尺寸
 

 

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)

  • 净重:50KG

质保期

一年质保期,相关耗材除外,终身维护。

质量认证

   Certified

 
 

 

 

 

 

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