• 产品名称: 小型三靶等离子溅射仪--VTC-16-3HD
  • 产品编号: 2-1-0-01
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
  • 产品型号: VTC--16-3HD

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         VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),基片最大尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料,金靶,银,铜, 它可以与真空泵,不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用。

 
      免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

   

 
技术参数 

设备名称

3靶等离子溅射仪-VTC-16-3HD 

 

 

 

视频

       操作视频

 

 

 

 

 

 

主要参数

 

输入电源:220V 通用  功率:1KW   

 

工作电流: 溅射电流:0-50 mA可调

 

单次工作时间:0-5分钟可调

 

靶头数目:3个

 

输出电压:1600V DC

 

样品台加热温度:500℃(选配)

 

 

 

溅射腔体

 

l采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H

 

l密封:O形密封圈密封

 

 

样品台

 

l一个外径50 mm 的样品台,用于盛放基片,可以电动控制移动三个位置

 

l溅射距离:25 - 40毫米可调

 

l可选购加热型样品台(最高温度可到500℃)

 

lPID控制器控温精度+/- 1℃(已集成到触摸屏上)

 

控制面板

 

l控制面板为PLC,4.3" 触摸屏

 

l一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度,电流,靶材位置和基片加热温度

 

 

 

 

 

 

真空泵(选配)

 

l用机械泵真空度达 50 mtorr仅供参考,详情请点击

 

l用分子泵真空度可达 10-4 torr仅供参考,详情请点击

 

进气口

一个精密可调针阀安装在进气口,以实现方便的调节进气量

 

 

 

 

靶材

 

 

l要求安装靶材的尺寸:直径Φ47mm,厚度0.5-3mm

 

l可在本公司选购靶材,具体请点击链接

 

 

外形尺寸

 

460mm×330mm×540mm (L×W×H)

 

净重:50KG(不包括泵)

 

 

 

 

质保期

 

一年保修,终身技术支持。


特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


点击查看售后服务承诺书。

 

质量认证

认证

 

 

 

各种靶材的参数(仅供参考)

 

对于溅射各种金属靶材,需要摸索最理想的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数仅供参考,详情请点击

 

靶材种类

真空度(Pa)

溅射电流(mA)

时间(s)

溅射次数

Au

31-33

28-30

100

1

Ag

31

28

100

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

使用注意事项

 

l由于能量低,该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al,Mg,Zn,Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节

 

l有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜

 

l为了得到较好的薄膜质量,必须通入高纯气体(建议> 5N)

 

l在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

 

l要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面

 

l超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分。

 

l等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物

 

l制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力

           
 超声波清洗机      等离子清洗机   大功率磁控溅射仪         蒸镀仪         手套箱

 

 

 

 

警告

 

l注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体

 

l气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用

 

l溅射头连接到高电压。为了安全操作者必须关闭设备前装样和更换靶

 

 

 

 

 

 

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