• 产品名称: Si+SiO2+Ti+Pt <111> (dia2"进口薄膜)
  • 产品编号: xjt020
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
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产品名称:

Si上镀SiO2+Ti+Pt<111>薄膜(进口料)

薄膜参数:

Si参数:

P型,R;5-10ohm.cm

SiO2参数:

300nm

Ti参数:

10nm

Pt <111>参数:

150nm

Pt薄膜最大热预算:

< 700~750 degree C / 1 hr(Maximum Thermal Budget of Pt film)

 

常规尺寸:

 dia2" ±0.5 mm x 0.279 mm、单抛;

数据图: AFM 图

标准包装:

 1000级超净室100级超净袋真空包装或者单片盒装

 

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