• 产品名称: 1700℃单温区三通道混气CVD系统--GSL-1700X-F3LV
  • 产品编号: GSL-1700X-F3LV
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
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  GSL-1700X-F3LV是一款CE认证的管式炉CVD系统,其真空泵采用双旋片式,混气系统采用三路浮子供气系统,最高温度可以达到1700°C真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。

  技术参数

管式炉结构
加热元件


    1800 grade MoSi2 ( 8根) 
 

最高工作温度     1700℃
最大升温速率     5/min
最大降温速率
    5/min
加热区长度
    455mm (18")
恒温区长度  
    150(+/-1
注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 
温控系统
  • 一个精密温度控制器 PID方式控制,通过可控硅 SCR
  • 可设置30段升降温程序. 
  • 控温仪表操作视频
  • 带有过热和断偶保护
控温精度     +/-1
炉管材质和尺寸
  • 99.8% 高纯氧化铝 Al2O3 陶瓷管
  • (标配)OD: 60 mm:ID: 50mm x1000 mm L   
  • (选配)OD: 80 mm:ID: 70mm x1000 mm L
密封法兰
  • 两个不锈钢密封法兰,法兰上已经安装机械压力表(图片中的蓝表为选配)和阀门
  • 通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr 
  • 泄漏率最大6 mtorr/min
输入电源     AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率:最大5KW
真空泵和配件 真空泵
  • 一个双旋片式机械泵安装在移动架内
  • 通过此机械泵真空度可以达到 5x10^-2 torr 
配件
  • 标配的真空配件: 一对不锈钢 密封法兰和KF-25 真空泵接口,两个不锈钢针阀, 1/4"的软管接头
  • 一个1000mm长的KF-25 不锈钢波纹管和四个KF-25不锈钢快速卸装卡箍
  • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

 

气体流量计

  • 3个浮子流量计安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。
  • 第一路气体流量范围为10-100 cc/min. 
  • 第二路气体流量范围为16-160 cc/min. 
  • 第三路气体流量范围为25-250 cc/min.
  •  一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接 ,来监测混合气体的压力
  • 四个不锈钢针阀安装在前面板上

    Front Panel Back Panel Gas Routes
        
运输信息 产品尺寸
  • 外径80 & 100mm 的氧化铝陶瓷管
  • 炉体尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H
  • 混气系统:: 600 x 600 x 700mm 真空机组: 600 x 600 x 700mm
净重    450 lb (总计)
运输重量    500 lb (总计)
质保期     一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈等易耗件
质量认证         CE certified

 

 

 

 

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