• 产品名称: 1200℃三温区三通道混气CVD系统--OTF-1200X-80-III-F3LV
  • 产品编号: -OTF-1200X-80-III-F3LV
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

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   OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统其管径为80mm,采用机械泵,它是由管式炉,三路浮子流量供气系统组成,其真空度可达到 10-2 torr

  技术参数

壳体结构

功率

        5 KW

电压

        AC 208-240V单相, 50/60 Hz

加热元件

         Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

最高工作温度

         1200℃

连续工作温度

         1100℃

最大加热速率

         ≤20  ℃/min

石英管&

密封法兰

  • 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在仪器内
  • 仪器上已经安装有不锈钢真空密封法兰,压力表和阀门(点击下面的图片查看详细的信息)

 

 

滑动法兰与样品架

    

      

 

加热区长度

  • 三个温区长度: (880mm, 35" in total)
  • 温区 1: 220mm  (8.6" )  
  • 温区 2: 440mm  (17.3")
  • 温区 3: 220 mm (8.6") 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

温控系统

  • 三个精密温度控制器,可独立控温
  • PID控制方式,通过PWM固体继电器。
  • 30段可编程智能温度调节仪,并可设置30段升降温程序.
  • 带有过热和断偶保护功能
  • 控温仪表操作视频

控温精度

        +/- 1℃

真空密封系统

 

  • 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀).
  • 通过机械泵真空度可以达到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用机械泵和分子泵,真空度可以达到10-4 torr.
  • 漏气率 < 5 m-torr / min

 

真空泵

         采用双旋机械泵,机械泵上安装有进口的油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米
     

 

数字式真空显示计

        可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换
     

 

气体流量计和压力表

 

  • 三个浮子流量计,能够检测到气体的流          
  • 三路浮子量程分别为
  • 10-100 cc/min.
  • 16-160 cc/min.
  • 25-250 cc/min
  • 内部安装有一混气罐
  • 有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上,可以检测气体压力及混合槽的压力

阀门

   四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上,用于控制气体的流量

外形尺寸

  • 炉子: 1100 X 450 x 670mm
  • 底部移动架: 600x600x597mm
开门断电

   为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
        

 

净重

    约 90 Kg

运输重量

      245 lbs

质保期

    一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件

质量认证

     CE certified

使用注意事项

  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
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