• 产品名称: 1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV
  • 产品编号: OTF-1200X-80-I-F3LV
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
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  OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr.

 技术参数

高温炉壳体

功率

         2.5 KW

电压

         AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 

加热元件

    掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命)

最高工作温度

          1200

连续工作温度

          1100

最快升温速率

          ≤20 

炉管材质和尺寸

    石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

加热区长度

         400 mm

恒温区长度

       150  mm(+/-1 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

控温系统

控温精度

       +/- 1 

真空密封系统

  两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),最大漏气率6 mtorr/min

   

 

真空泵

    采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。

防腐型真空计

  • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

 

混气系统

  • 三个浮子流量计
  • 三路浮子量程分别为
  • 10-100 cc/min.
  • 16-160 cc/min.
  • 25-250 cc/min
  • 内部安装有一混气罐 

 

 

尺寸

  • 炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm
  • 混气系统尺寸: 600x600x597 mm

净重

   约60kg

开门断电

   为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
        

 

运输重量

        200

质保期

   一年质保期(不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件)

   CE Certificate 

使用注意事项
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

 

 

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