• 产品名称: 1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统- OTF -1200X-4- C4LVS
  • 产品编号: OTF -1200X-4- C4LVS
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

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  OTF-1200X-4-C4LVS 双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子实现快速加热和冷却。

 

操作视频

 
 
特点:  

1.双石英管:外管直径100mm ,悬挂的内管直径 80. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。
2.双管的真空密封法兰:允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管.
3.四通道质量流量计控制4路气体。
4.配有KF25快接和波纹管的高速机械泵。
5.炉子底部装有滑轨:炉子可以从一端滑向另一端,从而实现快速升温和降温.
 
  技术参数
名称       1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统
视频

     

     

                    操作视频

炉体结构
电源       电源:208-240VAC,  50/60Hz, 单相,  2.5KW ( 20A 保险丝)
加热温度
  • 最高温度: 1100°C
  • 连续温度: 1000°C
加热区
  • 加热区长度: 440mm
  • 恒温区长度: 120mm (±1°C) @400~1100°C 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 
选择:   
      双温区炉可获得t 240mm 的恒温区
      
 
加热和冷却速度      最快的加热和冷却速度跟工作温度有关,  请点击下图可以看出最快的加热和冷却速度随温度的变化而变化。
( 在使用炉子之前,要校准工作温度和加热、冷却速度 )


click to enlarge click to enlarge
加热 冷却
石英管
  • 外管:     OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length        (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
  • 内管:     OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length  (OD80 x ID 75 x 1500 mm )
真空法兰
  • 一对 SS304不锈钢法兰,通过用两个高温“O”型圈紧密密封可获得高真空。
  • 炉子底部装有一对滑轨
  • 炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却。
  • 为了得到较快的加热速度,可以先将炉子预热,然后滑到放置样品的位置。
  • 为了获得较快的冷却的速度,把炉子滑向另一端,同时将冷却气体通入样品所在的位置。
左法兰(点击放大) 右法兰 (点击方大)
    
      极限真空度: 10^-2 torr (机械泵)
                        10^-5 torr (分子泵)
温控仪
混气系统      4路精密质子流量计:数字显示、气体流量自动控制.
  • MFC 1范围:  0~100 sccm
  • MFC 2范围:  0~200 sccm
  • MFC 3范围:  0~200 sccm
  • MFC 4范围:  0~500 sccm
  • 气路: 4 路
  • 流量精度: 0.2%
  • 进气和出气接口: 1/4" 卡套
  • 一个混气罐.
  • 每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。  
  • 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量. 请看下图

      MFC 面板(点击放大)
     

 

真空泵
  • 安装在移动架底部的机械泵,真空度达 10-3 Torr.
  • 真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接 .
  • 数字真空表安装在一端的法兰上. 
  • 选择: 可以配分子泵,真空度达 10-5 Torr     
作为基片用的25um厚的铜箔 
(选配)

      生长石墨烯的铜箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)

      

 

尺寸(mm)
  • 炉体: 550 x 380 x 520
  • 移动架: 600x600x597
净重       300 lbs
开门断电

    为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
        

 

保修期      一年质保期 (耗材:如炉管,“O”型圈,和加热元件等不在保修范围内)
认证        CE 认证
使用注意事项
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

 

 

 

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