• 产品名称: 1700℃三温区三通道混气CVD系统--GSL-1700X-III-F3LV
  • 产品编号: GSL--1700X
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
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  GSL-1700X-III-F3LV是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统,其炉管直径为60mm,真空泵采用双旋机械泵,混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。

  技术参数

炉体结构

 

功率

        9 KW(需要75A的空气开关 )

电压

        AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 

加热区

  • 总加热区长度: 25" (630 mm) 
  • 加热温区1长度: 7.5" (190 mm) 1400°通过4根硅碳棒加热,最高温度可达1400
  • 升温速率: 10°C/min
  • 加热温区2长度:: 10" (250 mm)1700°通6根硅钼棒加热,最高温度可达1700
  •  最快升温速率: 5°C/min
  • 加热温区3长度:: 7.5" (190 mm) 1400°通过4根硅碳棒加热,最高温度可达1400
  • 最大升温速率:  10°C/min

炉管和法兰尺寸

 

  • 99.8%高纯刚玉管 purity Alumina Tube
  • (标配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm)L
  • (选配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1200mm L
  • 一对60mm的不锈钢密封法兰,法兰上已安装阀门和仪表
  •  仪器中包括4个氧化铝管堵

温控系统

控温精确度

         +/-1°C

低真空系统

  • 采用双旋机械泵,其针对于本公司的管式炉,真空度可达到 10-2 Torr.
  • 一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上,其尺寸为 25mm Dia x 1000mm length ,可于管式炉上的法兰相连接

 防腐型数字真空计

 

  •  可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

 

三路浮子混气系统

 

 

  • 3个浮子流量计安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。
  • 第一路气体流量范围为10-100 cc/min. 
  • 第二路气体流量范围为16-160 cc/min.
  • 第三路气体流量范围为25-250 cc/min.
  • 一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接
  • 移动架上安装有4个不锈钢针阀 

尺寸

    高温炉:   863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H  inch)

质保期质量认证

  • 一年质保期. (不包括炉管加热元件和密封圈 .) 
  •  CE certified

 

 

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