• 产品名称: 500ºC 真空热压机--VHP-5T-4
  • 产品编号: VHP-5T-4炉
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
  • 产品型号: VHP-5T-4

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      VHP-5T-4是一款电动真空平板式真空热压机,针对于晶片的焊接或薄膜转移,其可处理最大样品尺寸为100mm x 100mm。仪器最高工作温度为500℃,在此温度下可对样品实加的最大压力为6T

 

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技术参数

名称

500ºC 真空平板热压机--VHP-5T-4

 

 

 

视频

 

      操作视频

                 仪表操作视频

 

 

主要参数

 

·功率:2000W

 

·电源: 208 - 240VAC, 50 Hz 单相

 

 

 

 

结构

 

 

·两块135mm x135mm加热平台,采用高温合金钢制成,最高可承受温度为500℃

 

·加热管嵌在加热平台的中间,以达到快速加热的效果

 

·两个精密的温控器独立控制两块加热平台,可设置30段升降温程序

 

·水冷管设计在加热平台的顶端,以达到快速冷却的效果  

    

 

 

 

 

 

液压泵

 

·40T的电动液压机与真空腔体相连接

 

·两个加热平台之间的可移动距离为60mm

 

·自动压力控制并带有数显压力显示

 

·压力控制精度为+/-0.5 Mpa

 

·两个加热平台最高工作温度为500℃,加热平台顶端安装有冷却水管。当工作温度高于200℃时,请注入冷却水(>15L/min)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

温控系统和压力显示

 

·两个精密的温控系统可设置30段升降温程序,其控温精度为±5℃,分别独立控制两个加热平台

 

·温控系统采用PID方式进行温度调节,并带有过热和断偶保护

 

·最高工作温度为500℃

 

·建议升温速率:0-400℃≦4/min 400-5002.5/min

 

·软件和PC接口安装在控温仪表上,可将温度程序和温度曲线导入到电脑中

 

·数字压力显示器(控制器)安装在真空腔体外,可设置其压力,当压力达到设置值时电机将自动停止

 

 

 

 

 

 

 

 

真空腔体

 

·电动液压装置和加热台都安装在真空腔体内

 

·真空腔体采用304不锈钢制作,并焊接有加强筋(防止真空状态下腔体变形),真空度可以达到10E-3 torr

 

·内部腔体尺寸为:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H)

 

·真空腔体前端有一直径为150mm的观察窗口

 

·一个真空计安装在真空腔体上,测量内部的真空度

  

 

 

 

水冷(可选)

 

·一台循环水冷,用于冷却加热板,防止过热和更快冷却。需额外购买

 

 

 

 

 

真空泵(可选)

 

·机械泵的真空度可以达到<5×10E-2Torr冷态下参考值

 

 

 

 

外形尺寸

 

800mm(L) x 550mm(W) x 1350mm(H)

认证

CE认证

 

 

 

 

质保期

 

一年保修,终身技术支持。

 

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

 

点击查看售后服务承诺书

 

使用注意事项

注意:气瓶上必须安装一个减压阀,以保证安全操作。

 

 

免责声明

 

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