• 产品名称: 混气系统3路浮子--GSL-3F
  • 产品编号: GSL-3F
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
  • 产品型号: GSL-3F

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    这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入,管式炉可以放在它上面,结合科晶集团的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。

   

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 技术参数

名称

混气系统3路浮子GSL-3F

 

 

 

 

浮子流量计

 

三种不同量程的浮子流量计,控制精度4%

 

·A:10 - 100mL/min

 

·B:16 - 160mL/min

 

·C:25 - 250mL/min

 

机械压力表(混气罐)

·-0.1-0.15 Mpa

 

 

 

 

接头和气管

 

·在混气系统右侧安装三个气体进口

 

·两通道气体流入气体混合罐,另一个通道气体不通过气体混合管请参考说明书,也可另行定制,详情请咨询销售

 

·两个出口(可连接科晶管式炉)安装在混气系统的左侧(一混合气体和一路单独的气体

 

·12长1/4”直径的聚四氟及快插接头

   

 

 

真空针阀

 

·采用ss304不锈钢

 

·安装在混气系统的右侧

 

安装带刹车的转向轮

外形尺寸:600 mm L x 600 mm W x 650 mm H

 

 

 

可选

              CVD或者PECVD            液相气体发生器

     

净重

75 Kg

 

 

 

质保期

 

一年保修,终身技术支持。


特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


点击查看售后服务承诺书

 

 

 

 

 

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