• 产品名称: 1200℃双管三温区(石墨烯生长炉)-OTF-1200X-III-D5-4
  • 产品编号: 石墨烯炉--OTF-1200X-III-D5-4
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
  • 产品型号: OTF-1200X-III-D5-4

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    OTF-1200X-5-III-D4 是一款三温区的双管炉,其最高工作温度可以达到1200℃,专门针对于用CVD方法在金属箔上生长薄膜物质,如石墨烯、太阳能电池的电极材料和电池电极材料等。

 

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 技术参数

名称

1200℃小型三温区开启式管式炉OTF-1200X-III-C

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

炉体结构

 

·采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度低于70℃

 

·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命) 

 

·可选购石英管堵及石英坩埚,可增加炉管内洁净度及真空度(图三、四)

 

·设有开门断电功能,提高实验安全性(图五、六)

 

·石英炉管外管直径为 130 mm,内管直径为100mm,使用时把金属箔附在内管壁上用于CVD反应

 

·双管真空密封法兰,反应气体通过两个管(20mm空隙流动并进行反应,强制对流空气可以通过中心管进行快速冷却(点击下列图片查看详情)(图七

 

     
           图一             图二                图三                     图四
   
            图五                图六                          图七

 

 

基本参数

 

热偶K型热偶    建议升温速率10℃/min   

 

温度:1100℃ 1200℃1h  电源:AC220,50Hz   最大功率:7KW

 

加热区

加热区长度:900mm (三温区:229mm+457mm+229mm)

加热元件

掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命)

 

 

 

 

 

 

 

 

法兰

 

·采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr

 

·法兰1包含不锈钢针形阀(点击图一查看订购转接头)

 

·法兰2包含kf5真空口,方便连接真空泵

 

·法兰采用水冷法兰。当工作温度超过900°C时,需要使用冷却水(图二)

 

·可选:您可在我公司选购液相气体发生器,可配合管式炉及CVD系统使用(图三)

   
            图一           图二           图三

 

 

 

 

 

 

 

炉管尺寸

 

·高纯石英管尺寸:

 

·内管尺寸:100 OD x 94 ID x 1800 L (mm)

 

·外管尺寸:130 OD x 120 ID x 1440 L (mm)

 

·使用时需放置管堵,点击下图查看详情

 

 

 

 

 

 

可选

 

·可在我公司选购石墨烯生长铜箔(图一)

 

·可在我公司选购移动炉架放置设备(图二)

 

·可在我公司选购质子流量计、真空机组等,支撑设备的同时可向设备内通入各种混合气体(图三)

   
         图一            图二            图三

 

 

 

 

 

 

 

 

密封法兰

 

·一对SS304真空法兰与双高温硅O形环包括在内

 

·两个针阀已分别安装在两个法兰上(图一)

 

·一个真空压力表安装在一侧法兰(图一)

 

·可选:您可以选购kf25真空口法兰(图二)

 

·可选:您可以订购法兰支架(图三)

   
             图一            图二             图三

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

温控系

 

 

·包含一款YD518P型温度控制器

 

·PID自动控温系统

 

·智能化30段可编程控制

 

·控温精度:±1℃

 

·三个温区分别有三个独立的温控系统控制

 

·默认DB9 PC通信连接端口

 

·通过MET认证

 

·可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

 

外形尺寸

2100 L x 450W x 630 H mm

净重

约90Kg

 

 

 

 

质保期

 

一年保修,终身技术支持。


特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


点击查看售后服务承诺书

 

 

 

 

 

 

 

 

 

真空系统

 

·通过机械泵可达到50mTorr(参考值,详情请点击

 

·通过分子泵泵可达到10E-5 Torr参考值,详情请点击

 

·可选购一个冷真空阱,以避免真空泵造成污染

 

 

 

 

 

 

质量认证

 

所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

 

 

 

 

 

 

 

使用注意事项

 

·炉管内气压不可高于0.02MPa

 

·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

 

·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当

 

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

 

·石英管的长时间使用温度<1100℃

 

·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

 

 

 

应用提示

 

·如何在MTI管炉上放置管堵和真空法兰

 

·为了在管式炉内获得准确的温度,在使用前需要校准温度,请点击这里了解如何使用

 

 

 

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