• 产品名称: 三温区1500℃ PECVD系统--OTF-1500X-III-4CV-PE-SL
  • 产品编号: OTF-1500X-III-4CV-PE-SL
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  OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统,它是由500W的射频电源,1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个新的实验帮手。


  技术参数

三温区开启式1500℃管式炉

 

射频电源

 

  • 输出功率:          5 -500W    ± 1% . 
  • 射频频率:          13.56 MHz    ±0.005% .
  • 反射功率:          最大 200W 
  • 匹配:                自动
  • 射频接口:       50 Ω, N-type
  • 噪音:                    <50 dB. 
  • 冷却:                  风冷
  • 电源:                AC   208-240V, 50/60Hz 

防腐型真空计

  • 输入电源   24V1A  DC(配有一电压转换器)
  • 测量范围   3.8x10-5 -1125 Torr.
  • 数据显示   数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr
  • 接头     1/8"NPT 接头
  • 产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

 

真空系统

  • 采用TRP-12的双旋真空泵极限真空10E-3 Torr 
  • KFD25 快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连.
  • 管内真空可达10E-2 Torr 
  •  

 

质量流量计混气系统

  • 四个精密的质量流量计(精度1.5% ) :数字显示,自动控制.
  • MFC 1范围:  0~100 sccm 
  • MFC 2和3:    0~200 sccm  
  • MFC 4范围:   0~500 sccm 
  • 一个混气罐,底部装有泄废液口
  • 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体.
  • 进气口: 41/4NPS. 
  • 出气口: 4个 1/4NPS. 
  • 采用PLC控制流量计,通过触摸屏进行控制

 

温控系统

  • 三个温区分别由三个温控系统控制
  • 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序
  • 带有超温和断偶保护
  • 控温精度:+/- 1 ºC
  • 控温仪表操作视频
  • 可选;此款设备可以安装控制模块,将温度设置和温度曲线导入到电脑

 

外型尺寸

  • 炉体:550 x 380 x 520  mm 
  • 炉体下端移动柜:1800×600×600mm
  • 净重:220 Lbs. 
  • 运输重量:1200lbs

质保期

   一年质保期,终身维护,相关耗材除外如炉管,密封圈等易耗件

质量认证

 

 

 

 

 

 

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