• 产品名称: 滑动式双温区PECVD系统--OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL
  • 产品编号: OTF-1200X-II-4CV-PE-SL
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
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  OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含500W等离子源, 80Dx1600L mm 滑动式双温区管式炉, 4通道质量流量供气系统和机械泵机组,这款 PECVD系统可用于生长纳米或石墨烯。

 

操作视频

 
 技术参数

名称    滑动式双温区PECVD系统
设备型号        OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-130-III-4CV-PE-SL-UL
炉管尺寸

2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L

3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L

5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' L

产品优点

等离子发射源

  • 输出功率:          5 -500W    ± 1% . 
  • 射频频率:          13.56 MHz    ±0.005% .
  • 反射功率:          最大 200W 
  • 匹配:                自动
  • 射频接口:       50 Ω, N-type
  • 噪音:                    <50 dB. 
  • 冷却:                  风冷
  • 电源:                AC   208-240V, 50/60Hz 

真空泵机组

  • 我公司有多种真空泵可选,请点击图片,或是致电我公司销售
  • KFD25 快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连.
  • 管内真空可达10E-2 Torr 
  • 防腐型真空计( 美国安装在左法兰上.
  • 本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)
      

 

质量流量计


        四个精密的质量流量计(精度0.02% ) :数字显示,自动控制.

  • MFC 1范围:  0~100 sccm 
  • MFC 23:    0~200 sccm  
  • MFC 4范围:   0~500 sccm 
  • 一个混气罐,底部装有泄废液口
  • 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体.
  • 进气口: 41/4NPS. 
  • 出气口: 4个 1/4NPS. 

控温软件

  • 计算机可以通过控温软件控制炉子:RS485 接口和软件是免费的,但需要购买数据线和一个控制模块
  • 为了获得较大的升温速度,  必须预热到设定温度,然后将炉子滑到样品位置。
  • 为了获得较快的降温速度,可将加热的炉子从热区滑到冷区.

总尺寸 

  •  炉体: 550 x 380 x 520  mm 
  • 滑轨:   1750 mm 
  • 移动架: 1200 x 1200 x 600mm.
  • 净重: 220 Lbs.
  • 运输重量: 500lbs.
开门断电

    为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
        

 

质保期和认证

       一年质保期 (耗材部分:如炉管,“O”型高温密封圈,加热元件等不在保修范围)

 

国家专利

专利名称:可组合式等离子增强化学气相沉积装置

专利编号:ZL-2011-2-0355777.1

尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究

使用注意事项
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

 

 

 

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