• 产品名称: 1700°C二通道混气高真空CVD系统--GSL-1700X-HVC
  • 产品编号: GSL-1700X-4-HVC
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

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     GSL-1700X-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成其最高工作温度可达1600极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。

 技术参数

GSL-1700X 系列管式炉

壳体

炉管

  • 材质高纯氧化铝陶瓷管
  • 一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上
  • (标配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L
  • (选配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L

功率

 

        6KW

工作电压

 

        AC 208-240V单相, 50/60Hz

加热元件

 

        8 1800°C grade MoSi2 heating element

工作温度

  • 最高工作温度.: 1650°C
  • 连续工作温度.: 1600°C

升温速率

 

         ≤5°C/min

加热区长度

  • 加热区长度: 457 mm (18")
  • 恒温区长度: 150 mm (6")(+/-1°C) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

温控系统

  • 采用PID方式自动控制,并可设置30段升降温程序
  • 控温精度: ±1°C                   
  • 控温仪表操作视频
  • 热电偶: B 型,已经安装在炉内

真空法兰

  • 一对不锈钢真空密封法兰已经安装
  • 法兰上带有一机械压力表
  • 两个精密针阀
  • 一个KF-25连接器 KF-25  KF-40 抽气接口
  • 一个1/4"卡套接头

外形尺寸

 

        550 x 380 x 520mm

高真空机组

功率

 

        100~110W

工作电压

 

        AC 208-240V单相, 50/60Hz

外形尺寸

 

        600(L) x 600(W) x 700(H), mm

壳体

  • 壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
  • 最大承载量:       600 Lbs on top
  • 分子泵控制面板:   LCD 数字显示
  • 内装有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:    

控制面板

  • 一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,分子泵自动启动) 
  • 系统控制旋转速率:根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率

 

抽气速率

  • N2     33 L/s
  •  He     39 L/s   (2340L/minute)
  • H2   32 L/s

工作范围

 

        1000 mbar to <1E-7 mbar

极限

 

        <1E-8 mbar (without any leaking )

质量流量控制器

壳体

  • 采用 316不锈钢制作
  • 混气箱尺寸: Φ80X120mm  
  • 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
  • MFC控制面板 (Click to enlarge),可根据客户要求定制

 

功率

 

          18W

工作电压

 

          AC 208-240V, 单相, 50/60Hz

质保期

 

  一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件

质量认证

    
 

 

  Operation Manual


 

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