• 产品名称: 1200°C三温区二通道混气高真空CVD系统--OTF-1200X-III-HVC
  • 产品编号: OTF-1200X-III-HVC
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    OTF-1200X-III-HVC是由OTF-1200X-III三温区管式炉,二路质子混气系统和高真空机组组成。其最高工作温度可达1200℃,极限真空度可达 10-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。


 

技术参数

OTF-1200X-III管式炉

壳体结构

炉管

  • 材质:高纯石英管
  • 石英管包含在内
  • 可以选择其他管径

管堵放置位置

      

功率

7KW

额定电压

AC 208-240V 单相50/60Hz

加热元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo(电阻丝表面涂有氧化锆涂层,最大程度的延长加热元件的使用寿命)

工作温度

  • 最高工作温度:1200℃
  • 连续工作温度:1100

升温速率

升温速率: 1~20/min 可编程

加热区长度

总加热区:900mm (300mm + 300mm + 300mm)

控温程序

  • 三个精密温度控制器分别控制三个温区
  • PID自动控制方式,可设置30段升降温程序
  • 控温精度: ±1
  • 热电偶 :采用K型热电偶进行测温

真空密封

  • 一对不锈钢真空法兰,已经安装
  • 法兰上已安装机械压力表
  • 一对精密针阀
  •  KF-40抽气接口

额定电压

AC 208-240V 单相, 50/60Hz

尺寸

1100(L) x 450(W) x 670(H), mm

高真空机组

结构

  • 壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
  • 最大承重:  600 Lbs
  • 分子泵显示屏: LCD 数字显示
  • 壳体内安装有有一台德国制造分子泵

抽气速率

  • N2   33 L/s
  • He   39 L/s   (2340L/minute)
  • H2   32 L/s

工作范围

From 1000 mbar to <1E-7 mbar

极限

<1E-8 mbar (无泄漏) 

电压&功率

110VAC~ 220VAC, 110W

质量流量控制系统

壳体结构

  • 2~9通道气体采用PLC触摸屏控制和PC操作软件
  • LED 显示
  • 4通道MFC采用316不锈钢制作,气体流量如下

通道1: 0~100SCCM

通道 2: 1~199 SCCM

通道 3: 1~199 SCCM

通道4: 1~499 SCCM

  • 4个通道的气体经过气体混合罐尺寸: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm

功率

18W

额定电压

AC 208-240V, 单相, 50/60Hz

开门断电

为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
  
  

质保期

一年质保期,相关耗材除外,如炉管密封圈加热元件等易耗件

质量认证

使用注意事项

  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

 

 

 

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