• 产品名称: Si+SiO2+Ti+Pt <111> (进口薄膜)
  • 产品编号: si05
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产品名称:

Si+SiO2+Ti+Pt<111>薄膜(进口料)

常规尺寸:

dia4"±0.5 mm x0.5mm   单抛;

dia2"±0.5 mm x 0.279 mm  单抛

标准包装:

1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装

  技术参数:

薄膜度:

SiO2=300nm

Ti=0-5nm

Pt(111)50-60nm

SiO2=300nm

Ti=10nm

Pt(111)150nm

SiO2=300 nm 

Ti=10nm

Pt(111)150 nm

SiO2=300 nm 

Ti=3nm

Pt(111)60 nm

电阻率R:

<0.005 ohm.cm

1-20 ohm.cm

5-10 ohm.cm

<0.005ohm.cm

温度参数

 

400  / 1 hr

 

< 700~750 / 1 hr

<700~750 / 1 hr;

400  / 1 hr;

 

尺寸:

dia 4" x 0.5 mm

dia 4"x 0.5 mm

dia2"x0.279 mm

dia 4" x 0.5 mm

 

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