• 产品名称: 1200℃带3通道混气真空管式炉--OTF-1200X-80-I-F3LV
  • 产品编号: OTF-1200X-80-I-
  • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
  • 产品型号:

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   OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到  10-2 torr。

技术参数

高温炉壳体

最大功率

3 KW

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 

加热元件

掺钼铁鉻铝,表面涂有氧化锆涂层,可以最大程度的延长仪器的使用寿命

最高工作温度

1200

连续工作温度

1100

最快升温速率

<= 20 

炉管材质和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

加热区长度

400 mm

恒温区长度

150 mm(+/-1 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

控温系统

控温精度

+/- 1oC

真空密封系统

 (点击图片查看详情)

 

两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),最大漏气率6 mtorr/min

 

真空泵

 

采用双旋机械泵

防腐型真空计

  • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

混气系统

 

 

New Version front panel

 

  • 三个浮子流量计(准确率4%FS)
  • 三路浮子量程分别为
  • 10-100 cc/min.
  • 16-160 cc/min.
  • 25-250 cc/min
  • 内部安装有一混气罐

尺寸

炉体尺寸: 550 x 380 x 520 mm, 混气系统尺寸: 600x600x597 mm

开门断电 为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
   

净重

60kg

运输重量

200

质保期

一年质保期(不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件)

  CE Certificate 

 

使用注意事项:
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

 

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