• 产品名称: 5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉(CSS)OTF-1200X-RTP-II-5-R
  • 产品编号: OTF-1200X-RTP-II-5-R
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    OTF-1200X-RTP-II-5-R是一款5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉,其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门设计针对于热蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,其镀膜面积可达到5"x5"并且顶部载样台可旋转,提高镀膜均匀性。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部),最大升温速率为10ºC/s 。对于探索新一代的薄膜太阳能电池,如CdTe、硫化物和钙钛矿结构太阳能电池,这是一款理想的实验工具。

 

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技术参数

 

 

 

 

 

 

产品特点

 

 由两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部两温度控制器进行独立控温

 

最大升温速率为10℃/s

 

最高温度可达800℃

 

两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制

 

顶部载样台可旋转,转速可调:1-7rpm

 

工作电压

AC 220V, 50/60Hz (需要50A的空气开关)

 

 

 

 

 

真空法兰

 

 

 真空法兰为316不锈钢制作

 

 顶部法兰可通过控制盒进行上升和下降)

 

一机械压力表

 

 一KF16接口,可以安装防腐真空计

 

两个不锈钢精密针阀用于气体的进出

 

 底部法兰

 

 一KF25接口,可以与真空泵相连接

 

 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封

 

 真空度20Pa(机械泵)

 

 真空度10-1Pa(分子泵)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

加热元件和载样台

 

 由两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部

 

 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节触摸屏控制调节范围为:2-50mm

 

顶部载样台可旋转(触摸屏控制),转速:1-7rpm

 

 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率,加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中,(不锈钢壳体采用316不锈钢制作)

 

 采用导热率较高的氮化铝陶瓷片(5"×5"×0.5mm厚度)作为载样台,以达到较好的加热均匀性

 

注:可选购5"x5"的石墨坩埚放于底部载样台来盛放蒸发原料提高温度均匀性

      

 

 

 

 

 

 

 

 

温控系统

 

 

 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区,可设置30段升降温程序

 

 每个温控系统都带有超温和断偶保护

 

 PC通讯接口,软件可安装,可将控温程序和温度曲线导入到电脑中

 

 

       控温仪表操作视频

 

 

 

工作温度

 

 最高工作温度为:800

 

 两个加热区之间的最大温差为300℃

 

 

 

加热和冷却速率

 

建议加热速率 10ºC/s(每个温区单独加热)


 冷却速率> 10ºC/s (800 - 300ºC)

 

热电偶

 两个K型热电偶,安装在顶部和底部,都与氮化铝陶瓷片相接触

 

 

 

 

 

 

可选

 

 此款仪器使用时需要配用一循环水冷机(58L/min)

 

 实验时需要一个真空泵,可与本公司选购真空泵

 

 若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境,可换购无油泵

 

 可选购质子流量计混气系统,将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中

        

 

质保

 一年质保期,终生维护(不包括密封圈、加热元件和石英管)

 

 

产品尺寸

790mm × 600mm × 1100mm

  

 

 

 

使用注意事项

 

 炉管内气压不可高于0.02MPa

 

 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

 

 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

 

 

 

 

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