• 产品名称: 4电弧提拉法单晶生长炉SP-MSM-4CZ
  • 产品编号: SP-MSM-4CZ
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  • 产品型号:

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   SP-MSM-4CZ是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉(采用Ar气电弧对样品熔融,提拉装置提拉),其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体(带有水冷夹层),真空度可达10-5Torr.此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶,如Ti单晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。

 

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技术参数

 

 

 

 

 

 

腔体

 

采用304不锈钢腔体,带有水冷夹层,可通入冷却水

 

腔体上安装有石英窗口,以便观察样品

 

腔体真空度:10-5Torr(采用分子泵)

 

腔体尺寸:Φ257*360mm

   

 

 

 

 

真空计

腔体上安装有数显防腐真空计和机械压力表

 

 

 

 

 

 

 

 

电弧枪

 

 

共有4个电弧枪,可让样品得到均匀的温场(电弧枪都带有冷却水)

 

钨电极直径为Φ4mm

 

电弧腔体对样品的角度和距离可手动调节

 

起弧电源: 18 V / 185 A    电压380V

 

熔炼温度可达3000℃

  

 

 

 

样品台

 

采用水冷铜坩埚

 

可投如样品量为60g(按铁计算)

 

 

 

 

提拉机构

 

控制器控制提拉机构的提拉速度,转速和转速

 

提拉速度:0.2-10mm/h

 

提拉行程:0-70mm

 

转速:0-40RPM

 

控制单元

可显示和设置单晶生长的参数(起弧电流,提拉杆转速,提拉行程和转速)

 

 

 

 

 

真空泵

 

 

设备中配有一分子泵系统(机械泵+涡旋分子泵)

 

抽气速率:100L/S

 

可使设备腔体的真空度达到10-5Torr(40分钟内)

 

 

 

 

循环水冷机

 

功率:800W

 

水流速度:58L/min

 

制冷能力:5004W(17500Btu/hour)

 

温度控制:5~30 °C

 

设备尺寸

800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H)

 

 

 

 

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