• 产品名称: 2通道ALD控制单元-ALD-GSL-4
  • 产品编号: ALD-GSL-4
  • 产品提示: 图片及参数仅供参考,详情请致电公司销售。
  • 产品型号:

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   ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系统,包含4通道质子流量计进行气体的混合和输送,可与本公司任意管式炉或腔体进行DIY,组建一套ALD系统,用于薄膜的制备或者粉末表面的包覆复合。LCD触摸屏可方便的对每一通道ALD的脉冲时间以及气体流量进行控制。

 

    免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

 

技术参数

工作电压&功率

AC220V 单相 50/60Hz  100W

 

 

 

PLC触摸屏 

 

 

通过6PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制

 

可控制2个ALD阀门的脉冲时间以及循环次数(毫秒级)

 

可控制4通道的气体流量(4通道质子流量计,精度±0.2%F.S)

 

真空压力显示

 

请点击左图查看控制界面

 

RS485 通讯接口和PC软件可以连接到电脑上,进行远程控制 

 

 

 

 

 

ALD进气阀

 

对于两种前驱体气体的沉积,需2个ALD进气阀进行控制(不包含在设备中)

 

客户可使用自己已有的ALD阀或点击下图选购本公司ALD阀

 

 

 

 

 

 

 

流量控制

 

四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合

  流量范围:

  一路: 0~100 SCCM

  二路: 1~199 SCCM

  三路: 1~199 SCCM

  四路: 1~499 SCCM

 

注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

 

工作温度:5~45ºC  耐压:3MPa  

 

精度: ±1.5% FS  线性: ±1%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.

 

 

 

 

通气管道
    

 

内置不锈钢混气罐

 

内部连接管道为1/4”不锈钢管

 

外部通气管道为1/4”聚四氟管

 

混气罐

 Φ80X120mm

截止阀及配件

 316不锈钢针阀   Φ1/4” 不锈钢管

尺寸

 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

质量认证

 CE认证

质保期

 一年保质期,终生维护

 

 

 

可选配件

 

可选购气液混合装置用于蒸汽的通入,点击下图查看详情

 

客户可另外付费由本公司对ALD控制单元以及管式炉系统进行连接组装。

       

 

 

 

 

 

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