• 产品名称: ALD回转炉系统-ALD-1200X-R-4
  • 产品编号: ALD-1200X-R-4
  • 产品提示: 图片及参数仅供参考,详情请致电公司销售。
  • 产品型号:

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    ALD-1200X--R-4是一款4英寸ALD旋转管式炉系统,包含用于原子层沉积的2个ALD进气阀、1个精密液体气相发生器以及4通道质子流量计控制系统可利用此系统进行粉末表面的ALD和CVD包覆。该系统简洁的设计使得更多的科研院所能够在可负担的低成本情况下实现ALD工艺实验。

 

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 技术参数

 

 

 

 

 

控制面板

 

蒸汽压力、ALD以及气体流量参数均可通过一6英寸接触屏由PLC进行控制

 

两个ALD进气阀

 

一个精密的4通道质子流量计系统

 

请点击下图查看控制面板(点击图片查看详细资料)

  

 

ALD进气阀

 

两个ALD脉冲电磁阀(最小可在10ms完成阀门的开启或关闭)

精密液体气相发生器

 

精密液体气相发生器包含在本系统中并且连接到ALD进气阀

 

 

 

 

 

旋转管式炉

 

连续工作的最高温度为1100℃

 

两个温区由两个独立的温控系统来控制,而且都为PID30段程序化控温

 

输入电压:208-240V AC,单向

 

最大功率为4KW

 

炉管旋转速度:0-10rpm

 

回转炉炉管结构如下图所示:

  

 

 

 

 

真空计

 

公司具有多种真空机可供选(点击下图链接)

 

 

 

 

真空泵(选配)

 

公司具有多种真空泵可供选配(点击下图链接)

 

 

 

 

更多可选配件 

 

可选购气液混合装置,用于CVD系统图1.2

 

可选购恒温控制模块图3

 

可选购金石英测试晶体(图4)以及热电偶用于薄膜厚度以及温度的测试

               
            图1              图2                 图3              图4

 

质保期

一年保质期,终身维护(不包含炉管,加热元件和密封圈)

质量认证

所有电器元件(>24V)均满足CE/UL/MET/CSA认证,如您另付费用,我们可保证单台仪器通过TUV(UL61010)或CSA认证

 

 

 

 

 

注意事项

 

炉管内气压不可高于0.02MPa

 

由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

 

当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

 

进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

 

点击此处了解如何选择本公司石英/陶瓷管以及管式炉真空法兰

 

相关应用

可利用ALD系统显著降低石榴石结构固态电解质与电极之间的高的固固界面阻抗,相关文献:Negating interfacial impedance in garnet-based solid-state Li metal batteries

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