• 产品名称: 带超声雾化以及进料系统的1200℃立式炉-OTF-1200X-VT-USPA
  • 产品编号: -OTF-1200X-V
  • 产品提示: 图片及参数仅供参考,详情请致电公司销售。
  • 产品型号:

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OTF-1200X-VT-USPA是一款带超声雾化以及进料系统的双温区立式管式炉,其炉管直径可制作为100mm。它可以将气体或者溶液雾化后喷入加热炉管中,因此也可以用来制备PVD、CSS或CVD涂层。采用PID方式进行温度调节,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1 ℃。炉体下端安装有一移动架以方便移动。

 


 

技术参数

管式炉系统

  •  双温区立式管式炉可用于加热样品
  •  容积式喂料器可将固态粉料不断送入管式炉中进行连续烧结或热处理
  •  超声雾化模块可利用低振动能量将液体雾化,之后利用自重或低压压缩空气喷入管式炉中

立式管式炉

容积式喂料器

超声雾化模块

 

 

工作功率

总功率6KW 每个温区: 3KW

工作电源

208-240V AC 单相,50/60 Hz

最高工作温度

1200°C (<1 hr)每个温区

连续工作温度

1100°C每个温区

最大加热速率

<= 20°C/min.

控温精度

+/- 1°C

炉管尺寸和材质

  •  包含一长度为1000mm的石英管
  •  OD:100mm,ID:95mm
  •  氧化铝管堵可悬挂在顶部法兰处避免热辐射
  •  炉管升级:如客户另付费用,可用莫来石管(60mm-100mm)代替石英管,管式炉的使用温度可升至1250℃

加热区长度

  •  200mm(温区1)
  •  200mm(温区2)
  •  总加热长度:400mm

恒温区长度

300mm(两温区设置同样温度)

温控系统

  •  采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序
  •  具有超温及断偶报警功能
  •  通信端口:RS485
  •  可安装PC控制软件对数据进行实时采集(需另购)
  •   

真空密封法兰

  •  炉管两端装有不锈钢密封法兰,真空计和阀门
  •  气体出气口与 KF25D 相连接
  •  气体进气口与6.35软管相连接
  •  上端密封法兰内部焊有不锈钢勾,用于客户悬挂样品
  •  如想增加抽气速率以便获得较高的真空,建议您将标配的软管接头更换成KF-25转接头(如左图)
  •  如需要在惰性或还原性气体条件下使用,建议您将标配的软管接头更换成VCR双卡套接头(如左图)

真空度

  •  10E-2 Torr(用机械泵)
  •  10E-5 Torr (用分子泵)
  •  漏气率 < 5 mTorr / min.

加热元件

1300°C 掺钼铁铬铝

设备尺寸

  • 550mm(L) x 380mm(W) x 520mm(H)(不含移动架)
  • 600mm(L) x 600mm(W) x 1200mm(H)(包含移动架)

净重

约 80 kg (不含移动架)

运输尺寸

48"(L) x 40"(W) x 72''(H)

运输重量

181 kg

质保期

一年质保期,终生维护(相关耗材除外,如炉管加热元件密封圈易耗件)

质量认证

应用注意事项

(为满足客户应用要求,可另加费用为您定制特殊法兰)

           方法1:采用传统的剪断悬挂线的方式使得样品自由落下(如图1.2)
           方法2:采用电磁释放的方式使得样品自由落下(如图3.4)
 
         
图1 2 图3 图4                   

 

  •  可定制一样品基座,将本系统升级为一HPCVD(混合物理化学气相沉积)炉(点击图5了解详细情况)
  •  可对尺寸小于1英寸的样品进行钎焊(在样品上方加一载重,点击图6进行了解)
  •  3温区立式炉也可用于该系统中(图7)
          
         
图5 6 图7          

            

警告
 

  • 炉管内气压不可高于0.02MPa;
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全;
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态;
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击;
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃;
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)。

 

 

 

 

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