• 产品名称: 1200℃1英寸双温区管式炉CVD系统--OTF-1200X-S25-II -SL
  • 产品编号: OTF-1200X-S25-II -SL
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     OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型双温区管式炉CVD系统()。它由带快速链接法兰的小型双温区滑轨炉、质子流量控制器、真空泵三部分组成。双温区()滑轨炉可移动并可实现快速升降温;触屏式三路质子流量器,能够精确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。
 
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技术参数

OTF-1200X-S25-II -SL管式炉

          炉体结构

 

 

           炉管尺寸

 Φ25×1000mm

           功率    

 1.2kW

           输入电

 220VAC  单相  50/60Hz

           加热元件   

 Cr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金)

           最高温度

 最高1200 额定温度  1100℃

           升温速率

 ≦10/min(推荐)

           恒温区长度

 50mm(±1℃)

           加热区长度

 

  • 两个加热区的长度都是100mm
     
  • 分别由独立的温控系统控制

 

           控温精度

 ±1℃

           快速连接法兰

 

  • KF25不锈钢真空法兰
     
  • 打开法兰直接卸下卡箍即可,取放样品方便
     
  • 另配备有可调节高度的法兰支架

 

真空系统(多种真空系统可选请点击这里)

               壳体尺寸

     600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

 最大承载量 

     1000 Lbs 

     

 

  

            抽气速率

 

  • 3L/S
     
  • 极限真空度:10-1Pa
     
  • 双层立式油污过滤器(PE材质)与真空泵连接

 

            电压

 220VAC  单相  50/60Hz

            功率

 550/400W(单相/三相)

 

 

三路质子流量控制系统多路质子流量器可选,详情请点击这里

 

 

               针阀材质

 316不锈钢

               工作温度

     5~45℃

               外型尺寸

  600(L) x 600(W) x 700(H) mm

            电压

 AC220V/50Hz单相

            功率

 23W

质保期

    一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈加热元件等易耗件

质量认证

 


 

 

 

使用注意事项

 

  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
     
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
     
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
     
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
     
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

 

 

 

 

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